Вышедшие номера
Прямое сращивание пластин карбида кремния с регулярным рельефом на интерфейсе
Грехов И.В.1, Костина Л.С.1, Аргунова Т.С.1, Белякова Е.И.1, Je J.H.1, Иванов П.А.1, Самсонова Т.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург, Россия Университет г. Поханг, Республика Корея
Поступила в редакцию: 6 января 2006 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2006 г.

Приведены результаты исследования прямого сращивания свободных от окисла монокристаллических пластин карбида кремния 6H-SiC (0001) с искусственным микрорельефом, сформированным на поверхности одной из пластин. По данным рентгеновских топографических исследований доля сросшейся площади достигает 85% от общей площади структуры. Распределение напряжений на интерфейсе непериодическое, что свидетельствует о неоднородной микрошероховатости сращиваемых пластин. PACS: 81.05.Hd