Модификационная сканирующая рентгеновская микроскопия полупроводниковых структур с использованием оптики Кумахова
Романов А.Ю.1
1Институт рентгеновской оптики, Москва
Email: androm2@yandex.ru
Поступила в редакцию: 15 июня 2005 г.
Выставление онлайн: 20 января 2006 г.
Впервые реализован модификационный вариант сканирующей рентгеновской микроскопии с использованием оптики Кумахова. Проведены радиационные испытания датчиков давления на основе "кремний на сапфире"-структуры в условиях лаборатории. В качестве источника ионизирующего излучения использовалась рентгеновская трубка, а также данная трубка, снабженная поликапиллярным рентгенооптическим элементом - среднефокусной линзой Кумахова. PACS: 07.85.Tt
- Васин С.В. Физико-химические процессы в МОП-структурах, облученных альфа- и бета-частицами: Дис. ... к. ф.-м. н.: 01.04.10. Ульяновск: УлГУ, 1999. 158 с
- Романов А.Ю., Тулвинский В.Б., Васин С.В. // Учен. зап. Ульяновского гос. ун-та. Сер. Физ. 2002. N 1 (12). С. 78--84
- Васин С.В., Тулвинский В.Б., Шипатов Э.Т. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. В. 16. С. 59--62
- Бормонтов Е.Н., Левин М.Н., Гитлин В.Р. и др. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. В. 9. С. 73--81
- Воронцов С.И., Бакланов С.Б., Гурин Н.Т., Новиков С.Г. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. В. 19. С. 37--42
- Киселёв А.Н., Перевощиков В.А., Скупов В.Д., Филатов Д.О. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 17. С. 35--39
- Киселёв А.Н., Перевощиков В.А., Скупов В.Д., Филатов Д.О. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. В. 23. С. 8--12
- Романов А.Ю. // Мат. 6-й междунар. конф. "Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы". Ульяновск: УлГУ, 2004. С. 163
- Романов А.Ю., Дмитриев И.В. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. В. 18. С. 65--69
- Бушев В.В., Николайчук О.Л., Стучебников В.М. // Датчики и системы. 2000. N 1. С. 21
- Романов А.Ю., Черник В.Н. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. В. 22. С. 53--57
- Гелевер В.Д., Романов А.Ю. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. В. 5. С. 52--57
- Романов А.Ю. // Изв. вузов. Приборостроение. 2005. N 1. С. 34--39
- Романов А.Ю., Дмитриев И.В., Акулов А.Ю. // Поверхность. 2005. N 2. С. 17--22
- Романов А.Ю. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. В. 5. С. 47--51
- Романов А.Ю. // Поверхность. 2005. N 8. С. 49--51
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук