Морфологические и оптические свойства слоев пористого карбида кремния, легированного титаном
Бачериков Ю.Ю., Конакова Р.В., Литвин О.С., Охрименко О.Б., Светличный А.М., Московченко Н.Н.
Email: svetlich@tsure.ru
Поступила в редакцию: 1 августа 2005 г.
Выставление онлайн: 20 января 2006 г.
Рассматривается влияние быстрого термического отжига на свойства слоев пористого карбида кремния, поры которого легированы титаном. Проведенные исследования морфологии поверхности и спектров фотолюминесценции показали, что следствием высокотемпературного отжига является образование силицидов титана. Кроме того, отжиг приводит к увеличению размеров зерен и проявлению пор на поверхности системы por-SiC + Ti. Данные фотолюминесценции коррелируют с данными по анализу фазового состава и морфологии поверхности образцов. Установлено, что быстрый термический отжиг приводит к трансформации структуры пористого карбида кремния, легированного титаном. PACS: 61.43.Gt
- Савкина Н.С., Ратников В.В., Шуман В.Б. // ФТП. 2001. Т. 35. В. 2. С. 159--163
- Konstantinov A.O., Henry A., Harris C.I. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 66. N 17. P. 2250--2252
- Данишевский А.М., Шуман В.Б., Рогачев А.Ю. и др. // ФТП. 1996. Т. 30. В. 6. С. 1064--1070
- Takahiro Matsumoto, Jun Takahashi, Teruyuki Tamaki et al. // Appl. Phys. Let. 1994. V. 64. N 2. P. 226--228
- Данишевский А.М., Шуман В.Б., Гук Е.Г. и др. // ФТП. 1997. Т. 31. N 4. С. 420--424
- Данишевский А.М., Шуман В.Б., Рогачев А.Ю. и др. // ФТП. 1995. Т. 29. В. 12. С. 2122--2132
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
