Влияние ультразвука на отжиг радиационных дефектов в кремнии при комнатных температурах
Подолян А.А.1, Хиврич В.И.1
1Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко Институт ядерных исследований НАН Украины
Email: gogi@mail.univ.kiev.ua
Поступила в редакцию: 23 ноября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2005 г.
Впервые показана возможность ультразвукового отжига при комнатных температурах точечных радиационных дефектов, вводимых в объем монокристаллического кремния gamma-облучением 60Co. Предложена качественная модель процессов, происходящих в системе радиационных дефектов под действием ультразвука.
- Ostapenko S.S., Jastrebski L., Lagowski J., Sopori B. // Appl. Phys. Lett. 1994. V. 65. P. 1555--1557
- Koshka Y., Ostapenko S., Ruf T., Zhang J.-M. // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 69. P. 2537--2539
- Ostrovskii I.V., Nadtochiy A.B., Steblenko L.P., Podolyan A.A. // IEEE International Ultrasonics Symposium. Atlanta, GA, Oct. 7--10, 2001. (http: // www.ieeeuffc.org/archive/ul/proceed/2001/proceed/u0110401.pdf)
- Онанко А.П., Подолян А.А., Островский И.В. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. В. 15. С. 40--44
- Saritas M., McKell H.D. // J. Appl. Phys. 1988. V. 63. N 9. P. 4561--4567
- Конозенко И.Д., Семенюк А.К., Хиврич В.И. Радиационные эффекты в кремнии. Киев, 1974. 199 с
- Вавилов В.С., Киселев В.Ф., Мукашев Б.Н. Дефекты в кремнии и на его поверхности. М.: Наука, 1990. 216 c
- Зубрилов А.С., Ковешников С.В. // ФТП. 1991. Т. 25. В. 8. С. 1332--1338
- Лугаков П.Ф., Лукашевич Т.А., Шуша В.В. // ФТП. 1979. Т. 13. В. 2. С. 401--404
- Kolkovskii I.I., Lugakov P.F., Shusha V.V. // Phys. stat. sol. (a). 1984. V. 83. N 1. P. 299--306
- Бургуэн Ж., Ланно М. Точечные дефекты в полупроводниках. Экспериментальные аспекты. М.: Мир, 1985. 304 с. (Пер. с англ. Bourgoin J.C., Lannoo M., Point Defects in Semiconductors II, Experimental Aspects. Springer Series in Solid-State Sciences. Vol. 35. Springer, Berlin, Heidelberg, New York, 1983)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук