Дефектно-деформационная модель образования поверхностных шероховатостей при лазерном облучении полупроводников и металлов
Емельянов В.И.1, Каримов К.М.1
1Московский государственный университет
Email: emel@em.msk.ru
Поступила в редакцию: 29 сентября 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.
Построена дефектно-деформационная (ДД) модель образования нерегулярных шероховатостей на поверхности полупроводников и металлов при лазерном облучении. Модель описывает образование шероховатостей различного масштаба (от микро- до нанометров) и соответствует экспериментальным данным по зависимостям масштаба шероховатостей от параметров лазерного излучения и обрабатываемых материалов. Указаны возможности направленного управления характеристиками генерируемых шероховатостей с помощью внешних воздействий.
- Емельянов В.И., Коротеев Н.И. // УФН. 1981. В. 135. С. 345--363
- Her T.H., Finlay R.J., Wu C. et al. // Appl. Phys. Lett. 1998. V. 73. P. 1673
- Dolgaev S.I., Lavrishev S.V., Lyanin A.A. et al. // Appl. Phys. A. 2001. V. 73. P. 177--181
- Байдуллаева А., Булак М.Б., Власенко А.И. и др. // ФТП. 2004. Т. 38. С. 26
- Емельянов В.И. // Квант. электрон. 1999. Т. 28. N 1. С. 2--18
- Emel'yanov V.I., Babak D.V. // Appl. Phys. A. 2002. V. 74. P. 797--805
- Емельянов В.И., Игумнов В.В., Старков В.В. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. В. 10. С. 83--88
- Емельянов В.И., Еремин К.И., Старков В.В. и др. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. В. 6. С. 19--25
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук