Вышедшие номера
Дефектно-деформационная модель образования поверхностных шероховатостей при лазерном облучении полупроводников и металлов
Емельянов В.И.1, Каримов К.М.1
1Московский государственный университет
Email: emel@em.msk.ru
Поступила в редакцию: 29 сентября 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.

Построена дефектно-деформационная (ДД) модель образования нерегулярных шероховатостей на поверхности полупроводников и металлов при лазерном облучении. Модель описывает образование шероховатостей различного масштаба (от микро- до нанометров) и соответствует экспериментальным данным по зависимостям масштаба шероховатостей от параметров лазерного излучения и обрабатываемых материалов. Указаны возможности направленного управления характеристиками генерируемых шероховатостей с помощью внешних воздействий.