Потери на распространение света в изогнутых интегральных волноводах на основе окисленного пористого кремния
Бондаренко В.П.1,2, Клышко А.А.1,2, Балукани М.1,2, Феррари А.1,2
1Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
2Римский Университет "La Sapienza", Рим, Италия
Email: vitally@bsuir.edu.by.
Поступила в редакцию: 13 октября 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.
Впервые оценены потери на распространение света в изогнутых интегральных волноводах на основе окисленного пористого кремния. Установлено, что в видимом диапазоне на красном свете потери снижаются от 20 до 5 dB на 90o изгиба при увеличении радиуса кривизны от 125 до 2500 mum при потерях на прямолинейных участках волноводов 0.4 dB/cm. Показано, что основной составляющей потерь на изгиб в волноводах являются потери на переходе от прямой части к изогнутой. Дополнительные потери вносят области непрокисленного пористого кремния на боковых стенках изогнутых участков волноводов.
- Bondarenko V., Varichenko V., Dorofeev A. et al. // Tech. Phys. Lett. 1993. V. 19. P. 463--465
- Bondarenko V., Dorofeev A., Kazuchits N. // Microelectron. Engineering. 1995. V. 28. P. 447--450
- Maiello G., Monica S., Ferrari A. et al. // Thin Solid Films. 1997. V. 297. P. 311--313
- Takahashi M., Koshida N. // J. Appl. Phys. 1999. V. 86. P. 5274--5278
- Benson T., Arrand H., Sewell P. et al. // Materials Science and Engineering. 1999. B69--70. P. 92--99
- Vorozov N., Dolgyi L., Yakovtseva V. et al. // Electronics Letters. 2000. V. 36. P. 722
- Balucani M., Bondarenko V., Vorozov N., Ferrari A. // Physica E. 2003. V. 16. P. 574--579
- Balucani M., Bondarenko V., Vorozov N., Ferrari A. // Physica E. 2003. V. 16. P. 586--590
- Balucani M., Bondarenko V., Dolgyi L. et al. // Materials Science in Semiconductor Processing. 2000. V. 3. P. 351--355
- Marcatili E.A.J. // Bell Syst. Tech. J. 1969. V. 48. P. 2103
- Kawachi M. // Optical and Quantum Electronics. 1990. V. 22. P. 391--416
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.