"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Получение пленок твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x методом магнетронного распыления
Гусейнов М.К.1, Курбанов М.К.1, Сафаралиев Г.К.1, Билалов Б.А.1
1Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия
Email: dgu@dgu.ru
Поступила в редакцию: 8 июня 2004 г.
Выставление онлайн: 20 января 2005 г.

Методом магнетронного распыления поликристаллических мишеней SiC-AlN получены пленки твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x на подложках 6H-SiC и сапфира при температуре подложки 500-1200oC. Проведены исследования структуры, состава и оптического поглощения пленок. Показано, что пленки, полученные на подложках 6H-SiC при температуре T<= 1000oC, имеют монокристаллическую структуру. Состав пленок (SiC)1-x(AlN)x близок составу мишени SiC-AlN.
  1. Янков Р.А., Фельсков М., Крайссиг У. и др. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. В. 16. С. 6--14
  2. Нурмагомедов Ш.А., Пихтин А.Н., Разбегаев В.Н., Сафаралиев Г.К., Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. // Письма в ЖТФ. 1986. Т. 12. В. 17. С. 1043--1045
  3. Дмитриев В.А., Елфимов Л.Б., Линков И.Ю. и др. // Письма в ЖТФ. 1991. Т. 17. В. 6. С. 50--53
  4. Сафаралиев Г.К., Курбанов М.К., Офицерова Н.В., Таиров Ю.М. // Изв. РАН. Неорг. мат-лы. 1995. N 6. С. 1--4
  5. Курбанов М.К., Билалов Б.А., Сафаралиев Г.К., Нурмагомедов Ш.А. // ФТП. 2001. Т. 35. В. 2. С. 216--218

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.