Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Получение пленок твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x методом магнетронного распыления
1Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия 
Email: dgu@dgu.ru
Поступила в редакцию: 8 июня 2004 г.
Выставление онлайн: 20 января 2005 г.
Методом магнетронного распыления поликристаллических мишеней SiC-AlN получены пленки твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x на подложках 6H-SiC и сапфира при температуре подложки 500-1200oC. Проведены исследования структуры, состава и оптического поглощения пленок. Показано, что пленки, полученные на подложках 6H-SiC при температуре T<= 1000oC, имеют монокристаллическую структуру. Состав пленок (SiC)1-x(AlN)x близок составу мишени SiC-AlN.
- Янков Р.А., Фельсков М., Крайссиг У. и др. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. В. 16. С. 6--14
- Нурмагомедов Ш.А., Пихтин А.Н., Разбегаев В.Н., Сафаралиев Г.К., Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. // Письма в ЖТФ. 1986. Т. 12. В. 17. С. 1043--1045
- Дмитриев В.А., Елфимов Л.Б., Линков И.Ю. и др. // Письма в ЖТФ. 1991. Т. 17. В. 6. С. 50--53
- Сафаралиев Г.К., Курбанов М.К., Офицерова Н.В., Таиров Ю.М. // Изв. РАН. Неорг. мат-лы. 1995. N 6. С. 1--4
- Курбанов М.К., Билалов Б.А., Сафаралиев Г.К., Нурмагомедов Ш.А. // ФТП. 2001. Т. 35. В. 2. С. 216--218
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
