Изменение формы крупных наноостровков германия на поверхности кремния путем облучения медленными ионами
Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М., Демченко А.И., Хитько В.И.
Email: novitski@ifttp.bas-net.by
Поступила в редакцию: 25 июля 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.
Подложки кремния, содержащие на поверхноcти наноостровки германия, облучались ионами водорода и аргона с энергией менее 350 eV. Обнаружено деление крупных островков германия на несколько мелких на начальном этапе облучения, причем независимо от типа ионов. Показана устойчивость полученной поверхности, более однородной по сравнению с исходной, к дальнейшему воздействию облучения.
- Леденцов Н.Н., Устинов В.М., Щукин В.А. и др. // Физика и техника полупроводников. 1998. Т. 32. N 4. С. 385--410
- Alchalabi K., Zimin D., Kostoroz G., Zogg H. // Phys. Rev. Lett. 2003. V. 90. P. 026104
- Medeiros-Ribeiro G., Bratkovski A.M., Kamins Th.I. et al. // Science. 1998. V. 279. P. 353--355
- Leifeld O., Hartmann R., Muller E. et al. // Nanotechnology. 1999. N 10. P. 122--126
- Schmidt O.G., Lange C., Eberl K. et al. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71. P. 2340--2343
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. В. 2. С. 6--13
- Стогний А.И., Корякин С.В. // ПТЭ. 2000. N 6. С. 64--67
- Smentkowski V.S. // Progress in Surface Science. 2000. V. 64. P. 1--58
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук