"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Влияние термообработки на структуру пленок оксида тантала, выращенных на титане
Жабрев В.А.1,2, Быстров Ю.А.1,2, Ефименко Л.П.1,2, Комлев А.Е.1,2, Барышников В.Г.1,2, Коломийцев А.А.1,2, Шаповалов В.И.1,2
1Институт химии силикатов РАН, С.-Петербург
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: efimenko@isc1.nw.ru
Поступила в редакцию: 12 сентября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.

Исследованы аморфные пленки оксида тантала, осажденные на титановую подложку методом магнетронного реактивного распыления. Установлено, что отжиг при температурах выше 600oC приводит к кристаллизации пленок с образованием фазы beta-Ta2O5. При термообработке в воздушной атмосфере подложка окисляется с образованием диоксида титана в модификации рутила.
  1. Моргунов М.С., Муждаба В.М., Таиров В.Н. и др. // ФТТ. 1983. Т. 25. N 11. С. 3431--3436
  2. Ефашкин Г.В., Чепуров А.К. // Электретный эффект и электрическая релаксация. М.: МИЭМ, 1979. С. 226--237
  3. Wang Z., Wang J., Xia Z. et al. // Proc. 9-=SUP=-th-=/SUP=- Int. Symp. on Electrets IEEE Report (ISE 9). 1996. P. 784--787
  4. Jiang J., Cui L., Song C. et al. // Proc. 10-=SUP=-th-=/SUP=- Int. Symp. on Electrets IEEE Report (ISE 10). 1999. P. 171--173
  5. Silva R.A., Walls M., Rondot B. et al. // J. Mater. Sci.: Mater. Med. 2002. V. 13. N 5. P. 495
  6. Matsuno H., Yokoyama A., Watari F. et al. // Biomat. 2001. V. 22. N 11. P. 1253
  7. Рид С. Электронно-зондовый микроанализ. М.: Мир, 1979. 424 с
  8. Fu Z.-W., Chen L.-Y., Qin Q.-Z. // Thin Solid Films. 1999. V. 340. N 1--2. P. 164
  9. Ozer N. // J. Sol-Gel Sci. and Tech. 1997. V. 8. N 1/2/3. P. 703
  10. Ghodsi F.E., Tepehan F.Z., Tepehan G.G. // Thin Solid Films. 1997. V. 295. N 11
  11. Kukli K., Aarik J., Aidla A. et al. // Thin Solid Films. 1995. V. 260. P. 135
  12. Kukli K., Ritala M., Matero R. et al. // J. Crystal Growth. 2000. V. 212. N 3--4. P. 459
  13. Franke E., Schubert M., Trimble C.L. et al. // Thin Solid Films. 2001. V. 388. N 1--2. P. 283
  14. Beckage P.J., Knorr D.B., Wu X.M. // J. Mater. Sci. (full set). 1998. V. 33. N 17. P. 4375
  15. Peng-Heng Chang, Hung-Yu Liu. // Thin Solid Films. 1995. V. 258. P. 56
  16. Pignolet A., Rao G.M., Krupanidhi S.B. // Thin Solid Films. 1995. V. 258. P. 230.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.