О неоднородном характере начальной стадии ионно-лучевого осаждения ультратонких пленок золота
Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М., Демченко А.И., Хитько В.И.
Email: novitski@ifttp.bas-net.by
Поступила в редакцию: 18 июня 2003 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2004 г.
Методом ионно-лучевого распыления проведено одновременное осаждение пленок золота толщиной от менее 1 до 3 nm на поверхность гладких на субнаноразмерном уровне стеклянных подложек и на поверхность подложек кремния ориентацией (001) с нанонеоднородностями различных размеров в виде групп островков германия. Показано, что независимо от природы поверхности подложки вначале формируется стабильный слой толщиной в несколько монослоев золота и что пленки толщиной более 2 nm являются сплошными и однородными. Однако прерывание процесса осаждения на промежуточном этапе может приводить к образованию неоднородного слоя золота островкового вида. Интерпретация полученных результатов базируется на известном факте наличия высокоэнергетической составляющей в потоке материала мишени, полученного методом ионно-лучевого распыления.
- Тонкие пленки --- взаимная диффузия и реакции: Пер. с англ. / Под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. М.: Мир, 1982. 576 с (Thin films --- interdiffusion and reactions / Ed. by Poate J.M., Tu K.N., Mayer J.V. A Willey-Interscience Publication John Wiley and Songs Inc., 1978)
- Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхноcти тонких пленок. М.: Мир, 1989. 480 с. (Fundamentals of surface and thin films analysis / Feldman L.C., Mayer J.W. Elsevier science Publishing Co, Inc., 1986)
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. В. 2. С. 6--13
- Sheu J.K., Su Y.K., Chi G.C. et al. // Appl. Phys. Letters. 1999. V. 74. N 16. P. 2340--2342
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Тушина С.Д., Калинников С.В. // ЖТФ. 2003. Т. 73. В. 6. С. 86--89
- Leifeld O., Hartmann R., Muller E. et al. // Nanotechnology. 1999. V. 10. P. 122--129
- Стогний А.И., Свирин В.Т., Тушина С.Д. и др. // ПТЭ. 2001. N 3. С. 151--154
- Точицкий Э.И. Кристаллизация и термообработка тонких пленок. Минск: Наука и техника, 1976. 376 c
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. В. 4. С. 39--45
- Стогний А.И., Корякин С.В., Новицкий Н.Н. // ЖТФ. 2003. Т. 73. В. 4. С. 117--123
- Thompson M.V. // Nucl. Instr. and Methods in Phys. Res. 1987. V. B. 18. P. 411--429
- Киттель Ч. Введение в физику твердого тела / Пер. с англ. М.: Изд-во физ.-мат. лит., 1962. 696 с. (Introduction to solid state physics / Kittel C. John Wiley and Songs Inc., 1956)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук