Вышедшие номера
Применение голографического интерферометра в режиме реального времени для моделирования процессов, происходящих в реакторе газовой эпитаксии
Константинов В.Б., Бабенко В.А., Жиляев Ю.В.
Поступила в редакцию: 24 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.

Методы голографической интерферометрии позволяют визуализировать газовые потоки и получать количественные данные о распределении плотности в объеме. Рассматривается возможность использования этих методов для контроля процессов в полости реактора газофазной эпитаксии. Установка состоит из реактора с двумя прозрачными окнами, голографического интерферометра реального времени, системы подачи газа в реактор и аппаратуры для визуального наблюдения газовых потоков. Полученные результаты демонстрируют перспективы использования метода как для оптимизации геометрии реактора, так и для корректировки физических условий процесса газовой эпитаксии.