"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Применение голографического интерферометра в режиме реального времени для моделирования процессов, происходящих в реакторе газовой эпитаксии
Константинов В.Б., Бабенко В.А., Жиляев Ю.В.
Поступила в редакцию: 24 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.

Методы голографической интерферометрии позволяют визуализировать газовые потоки и получать количественные данные о распределении плотности в объеме. Рассматривается возможность использования этих методов для контроля процессов в полости реактора газофазной эпитаксии. Установка состоит из реактора с двумя прозрачными окнами, голографического интерферометра реального времени, системы подачи газа в реактор и аппаратуры для визуального наблюдения газовых потоков. Полученные результаты демонстрируют перспективы использования метода как для оптимизации геометрии реактора, так и для корректировки физических условий процесса газовой эпитаксии.
  1. Giling L. // J. Electrochem. Soc. 1982. V. 129. P. 634--644
  2. Турилин С.М., Сорокин И.Н., Антоненко К.И. // Неорг. материалы. 1995. Т. 31. N 2. С. 151--159
  3. Антоненко К.И., Арендаренко А.А., Сорокин И.Н., Турилин С.М. // Изв. АН СССР. Мех. жидкости и газа. 1996. N 6. С. 118--124
  4. Pezol'dt J., Antonenko K., Eiichorn G. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. San Francisco, U.S.A. 1996. V. 429. P. 65--70
  5. Gurevich S., Konstantinov V. // Opt. Journal. 1996. V. 10. P. 3--13
  6. Gurevich S., Babenko V., Konstantinov V. Fringe 2001 / Ed. W. Osten, W. Juptner. Elsevier. P. 641--645
  7. Bat'kovich V., Budenkova O., Konstantinov V. et al. // JTPh. 1999. V. 69. N 6. P. 106--111

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.