Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Диффузия магния из подложек пористого карбида кремния при автолегировании эпитаксиальных слоев нитрида галлия
Мынбаева М.Г.1, Лаврентьев А.А.1, Фомин А.В.1, Мынбаев К.Д.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Email: mgm@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 10 декабря 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.
Исследована диффузия магния при автолегировании эпитаксиальных слоев нитрида галлия из подложек карбида кремния. Эффект автолегирования зафиксирован в случае использования подложек из пористого карбида кремния, полученного поверхностной анодизацией пластин 6H-SiC. Показано, что послеростовой отжиг позволяет контролировать распределение магния в слоях. Факт легирования подтвержден измерениями фотолюминесценции слоев при 77 K.
- Sheu J.K., Chi G.C. // J. Phys: Condens. Matter. 2002. V. 14. P. R657--R702
- Kamp M. // Optical and Quantum Electronics. 2000. V. 32. P. 227--248
- Jerier P., Dutartre D. // J. Electrochem. Soc. 1999. V. 146. P. 331--335
- Handy Е.М., Rao M.V., Jones K.A. et al. // J. Appl. Phys. 1999. V. 86. P. 746--751
- Мынбаева М.Г., Лаврентьев А.В., Кузнецов А.Н. и др. // ФТП. 2003. Т. 37 (5). С. 612--615
- Mynbaeva M., Titkov A., Kryganovskii A. et al. // MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 1999. V. 4. P. 14
- Mynbaeva M., Tsvetkov D. // Inst. Phys. Conf. Ser. 1997. V. 155. P. 365--367
- Mel'nik Yu., Nikitina I., Zubrilov A. et al. // Inst. Phys. Conf. 1995. V. 142. P. 863--866
- Горелик С.С., Дашевский М.Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков. М., 1988. 574 с
- Pan C.J., Chi G.C. // Sol.-State Electr. 1999. V. 43. P. 621--623
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
