Квазиодномерное распределение макропор при анодном травлении одноосно напряженной пластины кремния
Емельянов В.И.1, Еремин К.И.1, Старков В.В.1, Гаврилин Е.Ю.1
1Международный лазерный центр, Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва Институт проблем технологии микроэлектроники РАН, Черноголовка
Поступила в редакцию: 17 сентября 2002 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2003 г.
Экспериментально обнаружен постепенный переход от квазигексагонального к квазиодномерному порядку в расположении протравленных макропор на поверхности (100) пластины Si, подвергнутой неоднородной деформации изгиба. Дано теоретическое описание этого эффекта в рамках дефектно-деформационного (ДД) механизма образования упорядоченных ансамблей затравочных пор при травлении полупроводников и металлов.
- Cullis A.G., Canham L.T., Calcott P.D.J. // J. Appl. Phys. 1997. V. 82. P. 909
- Kovalev D., Hackler H., Polisski G., Koch F. // Phys. Stat. Sol. B. 1999. V. 215. P. 817
- Golovan L.A., Timoshenko V.Yu., Fedotov A.B. et al. // Appl. Phys. B. 2001. V. 73. P. 31--34
- Levi-Clement C., Bastide S. // Z. Physicalische Chemi-Int. J. Res. Phys. Chem. Phys. 1999. V. 212. P. 123
- Angelucci R., Poggi A., Dori L. et al. // Sens. Actuators A. 1999. V. 74. P. 1
- Ashruf C.M.A, French P.J., Sarro P.M. et al. // J. Micromech. Microeng. 2000. V. 10. P. 505
- Mizishima I., Sato T., Taniguchi S. et al. // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 77. P. 3290
- Chelnokov A., Wang K., Rowson S. et al. // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 77. P. 2943
- Miller F., Birner A., Cosele U. et al. // J. Porous. Mater. 2000. V. 7. P. 201
- Головань Л.А., Федотов А.Б., Кашкаров П.К. и др. // Письма в ЖЭТФ. Т. 69. С. 274
- Емельянов В.И., Еремин К.И., Старков В.В. // Квантовая электроника. 2002. Т. 32. С. 473
- Емельянов В.И. // Квантовая электроника. 1999. Т. 128. С. 2
- Walgraef D., Ghoniem N.M., Lauzeral J. // Phys. Rev. B. 1997. V. 56. P. 15 361
- Emel'yanov V.I. // Laser Physics. 1992. V. 2. P. 389
- Aziz M.J. Defect and Diffusion Forum. 1998. V. 153. P. 1
- Амбарцумян С.А. Теория анизотропных пластин. М.: Наука, 1967
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
