Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2026
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Механизмы разрушения фторуглеродных пленок при атомно-слоевом травлении диоксида кремния
Российский научный фонд, № 23-91-06004
Соловых А.А.1,2, Воронина Е.Н.
1,2, Манкелевич Ю.А.
1, Новиков Л.С.
1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики имени. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета имени М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Физический факультет Московского государственного университета имени М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Физический факультет Московского государственного университета имени М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: voroninaen@nsrd.sinp.msu.ru
Поступила в редакцию: 4 февраля 2026 г.
В окончательной редакции: 18 марта 2026 г.
Принята к печати: 9 апреля 2026 г.
Выставление онлайн: 12 мая 2026 г.
Представлены результаты моделирования квантово-механическим методом DFT элементарных физико-химических процессов повреждения и удаления фторуглеродных пленок при плазменном атомно-слоевом травлении диоксида кремния. Определены энергетические параметры протекающих химических реакций, что имеет важное практическое значение для совершенствования технологии изготовления интегральных схем. Ключевые слова: плазма, атомно-слоевое травление, фторуглеродная пленка, ионы, радикалы, моделирование.
- K.J. Kanarik, T. Lill, E.A. Hudson, S. Sriraman, S. Tan, J. Marks, V. Vahedi, R.A. Gottscho, J. Vac. Sci. Technol. A, 33, 020802 (2015). DOI: 10.1116/1.4913379
- A. Fischer, T. Lill, Phys. Plasmas, 30, 080601 (2023). DOI: 10.1063/5.0158785
- M. Schaepkens, T.E.F.M. Standaert, N.R. Rueger, P.G.M. Sebel, G.S. Oehrlein, J.M. Cook, J. Vac. Sci. Technol. A, 17, 26 (1999). DOI: 10.1116/1.582108
- R.J. Gasvoda, Z. Zhang, S. Wang, E.A. Hudson, S. Agarwal, J. Vac. Sci. Technol. A, 38, 050803 (2020). DOI: 10.1116/6.0000395
- D. Metzler, R.L. Bruce, S. Engelmann, E.A. Joseph, G.S. Oehrlein, J. Vac. Sci. Technol. A, 32, 020603 (2014). DOI: 10.1116/1.4843575
- S.S. Kaler, Q. Lou, V.M. Donnelly, D.J. Economouet, J. Phys. D, 50, 234001 (2017). DOI: 10.1088/1361-6463/aa6f40
- D.V. Lopaev, D.R. Shibanov, T.V. Rakhimova, M.A. Bogdanova, A.V. Glotov, K.I. Maslakov, A.A. Rezvanov, A.T. Rakhimov, J. Vac. Sci. Technol. A, 44, 022607 (2026). DOI: 10.1116/6.0005123
- O. Proshina, A. Kropotkin, D. Voloshin, T. Rakhimova, A. Rakhimov, J. Vac. Sci. Technol. A, 44, 023014 (2026). DOI: 10.1116/6.0005124
- I.I. Amirov, E.S. Gorlachev, L.A. Mazaletskiy, M.O. Izyumov, N.V. Alov, J. Phys. D, 51 (11), 11LT01 (2018). DOI: 10.1088/1361-6463/aaacbe
- S. Shim, J.R. Vella, J.S. Draney, D. Na, D.B. Graves, J. Vac. Sci. Technol. A, 42, 023207 (2024). DOI: 10.1116/6.0003425
- G. Kresse, D. Joubert, Phys. Rev. B, 59 (3), 1758 (1999). DOI: 10.1103/PhysRevB.59.1758
- V.V. Voevodin, A.S. Antonov, D.A. Nikitenko, P.A. Shvets, S.I. Sobolev, I.Yu. Sidorov, K.S. Stefanov, V.V. Voevodin, S.A. Zhumatiy, Supercomput.. Front. Innovat., 6 (2), 4 (2019). DOI: 10.14529/jsfi1902
- W. Humphrey, A. Dalke, K. Schulten, J. Mol. Graphics, 14, 33 (1996). DOI: 10.1016/0263-7855(96)00018-5
- Yu.A. Mankelevich, E.N. Voronina, T.V. Rakhimova, A.P. Palov, D.V. Lopaev, S.M. Zyryanov, M.R. Baklanov, J. Phys. D, 49, 345203 (2016). DOI: 10.1088/0022-3727/49/34/345203
- A.L. Brunsvold, J. Zhang, H.P. Upadhyaya, T.K. Minton, ACS Appl. Mater. Interfaces, 1 (1), 187 (2009). DOI: 10.1021/am800015k
- M. Altarawneh, Atmosph. Poll. Res., 12, 101255 (2021). DOI: 10.1016/j.apr.2021.101255
