Мультифотонная микроскопия как способ контроля степени очистки структур нитевидных нанокристаллов кремния
Лемешко П.С.
1, Кондратьев В.М.
2,3, Вячеславова Е.А.
3, Мошников В.А.
11Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Долгопрудный, Московская обл., Россия
3Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Email: lemeshkops@yandex.ru
Поступила в редакцию: 16 сентября 2024 г.
В окончательной редакции: 25 октября 2024 г.
Принята к печати: 12 ноября 2024 г.
Выставление онлайн: 14 марта 2025 г.
Метод мультифотонной микроскопии является перспективным для контроля степени загрязнения и очистки твердотельных структур и микроструктур. Показано, что в отличие от стандартных методов сканирующей лазерной микроскопии метод мультифотонной микроскопии обеспечивает получение информации о локализации загрязнений на структуре нитевидных кремниевых нанокристаллов, а также позволяет качественно оценить степень ее очистки после проведения процедуры по очистке. Ключевые слова: двухфотонная микроскопия, двухфотонная фотолюминесценция, нитевидные нанокристаллы,кремний.
- C.J.R. Sheppard, J. Biomed. Opt., 25 (1), 014511 (2020). DOI: 10.1117/1.JBO.25.1.014511
- M.J. Sanderson, I. Smith, I. Parker, M.D. Bootman, Cold Spring Harb. Protoc., 2014 (10), 1042 (2014). DOI: 10.1101/pdb.top071795
- H. Lin, T. Fan, J. Sui, G. Wang, J. Chen, S. Zhuo, H. Zhang, Nanoscale, 11 (42), 19619 (2019). DOI: 10.1039/C9NR04902A
- G. Borile, D. Sandrin, A. Filippi, K.I. Anderson, F. Romanato, Int. J. Mol. Sci., 22 (5), 2657 (2021). DOI: 10.3390/ijms22052657
- P.S. Lemeshko, Y.M. Spivak, V.A. Moshnikov, Nanobiotechnol. Rep., 18 (S1), 203 (2023). DOI: 10.1134/S2635167623600670
- P.S. Lemeshko, A.Yu. Gagarina, L.S. Bogoslovskaya, Y.M. Spivak, V.A. Moshnikov, in 2022 Conf. of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (ElConRus) (IEEE, 2022), p. 982-985. DOI: 10.1109/ElConRus54750.2022.9755668
- M. Ciappina, A.A. Chacon S., M. Lewenstein, in Springer Handbook of Atomic, Molecular, and Optical Physics, ed. by G.W.F. Drake (Springer, Cham, 2023), p. 1125-1140. DOI: 10.1007/978-3-030-73893-8_78
- V.M. Kondratev, E.A. Vyacheslavova, T. Shugabaev, D.A. Kirilenko, A. Kuznetsov, S.A. Kadinskaya, Z.V. Shomakhov, A.I. Baranov, S.S. Nalimova, V.A. Moshnikov, A.S. Gudovskikh, A.D. Bolshakov, ACS Appl. Nano Mater., 6 (13), 11513 (2023). DOI: 10.1021/acsanm.3c01545
- M. Garin, J. Heinonen, L. Werner, T.P. Pasanen, V. Vahanissi, A. Haarahiltunen, M.A. Juntunen, H. Savin, Phys. Rev. Lett., 125 (11), 117702 (2020). DOI: 10.1103/PhysRevLett.125.117702
- V.A. Georgobiani, K.A. Gonchar, E.A. Zvereva, L.A. Osminkina, Phys. Status Solidi A, 215 (1), 1700565 (2018). DOI: 10.1002/pssa.201700565
- V.M. Kondratev, I.A. Morozov, E.A. Vyacheslavova, D.A. Kirilenko, A. Kuznetsov, S.A. Kadinskaya, S.S. Nalimova, V.A. Moshnikov, A.S. Gudovskikh, A.D. Bolshakov, ACS Appl. Nano Mater., 5 (7), 9940 (2022). DOI: 10.1021/acsanm.2c02178