Методом магнетронного напыления создан слоевой вариант термистора, в котором рабочий слой полупроводниковой пленки шпинельной фазы наносится на предварительно сформированную на подложке поликора металлическую пленку, образующую внутренний электрод. Исследовано влияние режимов термообработки и электронагрузки на основные характеристики полученных термисторов. Установлено, что переход к слоевой структуре позволяет получить чип-термисторы с сопротивлением менее 100 Ω с сохранением высокой температурной нелинейности сопротивления. После температурной обработки при 400-500^oC термисторы приобретают на два-три порядка большее сопротивление и ярко выраженную полевую нелинейность, определяющую сильную зависимость сопротивления от приложенного напряжения. Образцы термисторов с внутренним электродом из Ni и особенно из NiCr после отжига при 500^oC проявляют высокую устойчивость к экстремальным электрическим нагрузкам в единицы ватт. Ключевые слова: термистор, магнетронное распыление, электрические свойства, нелинейные свойства, полупроводниковые оксиды.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.