Зондовая диагностика параметров индукционно-связанной плазмы, поддерживаемой в газовой смеси летучих галогенидов
Российский научный фонд, Проведение инициативных исследований молодыми учеными, 22-72-00073
Преображенский Е.И.
1, Синцов С.В.
1,2, Водопьянов А.В.
1,2
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН, Нижний Новгород, Россия
2Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: evgenypr@ipfran.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 25 сентября 2023 г.
Принята к печати: 30 октября 2023 г.
Выставление онлайн: 15 декабря 2023 г.
Представлены результаты измерений локальной функции распределения электронов по энергиям в индукционном разряде, поддерживаемом в потоке летучих галогенидов при пониженном давлении. Использован подвижный электрический зонд с малым временем экспозиции в плазме, позволяющий существенно снизить эрозийное воздействие химически активной среды на электроды. Обсуждаются численные методы обработки вольт-амперных характеристик, позволяющие выделить особенности функции распределения электронов по энергиям в высокоэнергетической области. Ключевые слова: плазма, электрические зонды, галогениды, плазмохимия.
- Л.С. Полак, А.А. Овсянников, Д.И. Словецкий, Ф.Б. Вурзель, Теоретическая и прикладная плазмохимия (Наука, М., 1975)
- L.V. Shabarova, P.G. Sennikov, R.A. Kornev, A.D. Plekhovich, A.M. Kut'in, High Energy Chem., 53 (6), 482 (2019). DOI: 10.1134/S0018143919060146
- A. Bogaerts, C. De Bie, M. Eckert, V. Georgieva, T. Martens, E. Neyts, S. Tinck, Pure Appl. Chem., 82 (6), 1283 (2010). DOI: 10.1351/PAC-CON-09-09-20
- Р. Хаддлстоун, С. Леонард, Диагностика плазмы (Мир, М., 1967). [R.H. Huddlestone, S.L. Leonard, Plasma diagnostic techniques (Academic Press, 1965).]
- V.A. Godyak, V.I. Demidov, J. Phys. D: Appl. Phys., 44 (23), 233001 (2011). DOI: 10.1088/0022-3727/44/23/233001
- В.Н. Очкин, Спектроскопия низкотемпературной плазмы (Физматлит, 2006)
- A. Vodopyanov, D. Mansfeld, S. Sintsov, M. Viktorov, J. Phys.: Conf. Ser., 1400, 077022 (2019). DOI: 10.1088/1742-6596/1400/7/077022
- M.A. Pedrosa, A. Lopez-Sanchez, C. Hidalgo, A. Montoro, A. Gabriel, J. Encabo, J. de la Gama, L.M. Martinez, E. Sanchez, R. Perez, C Sierra, Rev. Sci. Instrum., 70 (1), 415 (1999). DOI: 10.1063/1.1149350
- Р.Ю. Соломатин, С.А. Грашин, ВАНТ. Сер. Термоядерный синтез, 40 (2), 55 (2017). DOI: 10.21517/0202-3822-2017-40-2-55-60
- S. Sintsov, D. Mansfeld, E. Preobrazhensky, R. Kornev, N. Chekamrev, M. Viktorov, A. Ermakov, A. Vodopyanov, Plasma Chem. Plasma Process., 42 (6), 1237 (2022). DOI: 10.1007/s11090-022-10280-0
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.