Воздействие плазмы N2 на монослои дисульфида молибдена
Российский научный фонд, 22-22-00178
Хлебников С.А.1,2, Соловых А.А.1,2, Манкелевич Ю.А.
1, Воронина Е.Н.
1,2
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: sergo0409@mail.ru, solovykh.aa19@physics.msu.ru, ymankelevich@mics.msu.su, voroninaen@nsrd.sinp.msu.ru
Поступила в редакцию: 25 мая 2023 г.
В окончательной редакции: 13 июля 2023 г.
Принята к печати: 13 июля 2023 г.
Выставление онлайн: 15 августа 2023 г.
На основании динамического моделирования квантово-механическим методом DFT выявлены основные процессы взаимодействия тепловых атомов N с поверхностью бездефектного монослоя MoS2. Описаны возможные механизмы образования дефектов под действием ионов N_2+ низкой энергии. Сделана оценка пороговой энергии ионов, необходимой для удаления серы. Ключевые слова: дисульфид молибдена, монослой, плазма, радикалы, ионы, моделирование.
- Z.M. Wang, MoS2. Materials, physics, and devices (Springer, 2014). DOI: 10.1007/978-3-319-02850-7
- B. Radisavljevic, A. Radenovic, J. Brivio, V. Giacometti, A. Kis, Nature Nanotechnol., 6 (3), 147 (2011). DOI: 10.1038/nnano.2010.279
- Л.А. Чернозатонский, А.А. Артюх, УФН, 188 (1), 3 (2018). DOI: 10.3367/UFNr.2017.02.038065 [L.A. Chernozatonskii, A.A. Artyukh, Phys. Usp., 61 (1), 2 (2018). DOI: 10.3367/UFNe.2017.02.038065]
- J. Guo, B. Yang, Zh. Zheng, J. Jiang, Physica E, 87, 150 (2016). DOI: 10.1016/j.physe.2016.12.004
- A. Azcatl, X. Qin, A. Prakash, Ch. Zhang, L. Cheng, Q. Wang, N. Lu, M.J. Kim, J. Kim, K. Cho, R. Addou, Ch.L. Hinkle, J. Appenzeller, R.M. Wallace, Nano Lett., 16 (9), 5437 (2016). DOI: 10.1021/acs.nanolett.6b01853
- Q. Qian, Z. Zhang, M. Hua, G. Tang, J. Lei, F. Lan, Y. Xu, R. Yan, K.J. Chen, Nanotechnology, 28 (17), 175202 (2017). DOI: 10.1088/1361-6528/aa6756
- H. Zhu, X. Qin, L. Cheng, A. Azcatl, J. Kim, R.M. Wallace, ACS Appl. Mater. Interfaces, 8 (29), 19119 (2016). DOI: 10.1021/acsami.6b04719
- Д.Е. Мележенко, Д.В. Лопаев, А.И. Зотович, Е.Н. Воронина, Письма в ЖТФ, 48 (22), 28 (2022). DOI: 10.21883/PJTF.2022.22.53803.19330 [D.E. Melezhenko, D.V. Lopaev, A.I. Zotovich, E.N. Voronina, Tech. Phys. Lett., 48 (11), 65 (2022). DOI: 10.21883/tpl.2022.11.54894.19330]
- G. Kresse, D. Joubert, Phys. Rev. B, 59 (3), 1758 (1999). DOI: 10.1103/PhysRevB.59.1758
- V.V. Voevodin, A.S. Antonov, D.A. Nikitenko, P.A. Shvets, S.I. Sobolev, I.Yu. Sidorov, K.S. Stefanov, V.V. Voevodin, S.A. Zhumatiy, Supercomput. Front. Innov., 6 (2), 4 (2019). DOI: 10.14529/jsfi1902
- J. He, K. Wu, R. Sa, Q. Li, Y. Wei, Appl. Phys. Lett., 96 (8), 082504 (2010). DOI: 10.1063/1.3318254
- N. Balucani, Chem. Soc. Rev., 41 (16), 5473 (2012). DOI: 10.1039/c2cs35113g
- E.N. Voronina, Yu.A. Mankelevich, T.V. Rakhimova, D.V. Lopaev, J. Vac. Sci. Technol. A, 37 (6), 061304 (2019). DOI: 10.1116/1.5122655
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
