Вышедшие номера
Кинетика роста наномембран полупроводниковых соединений III-V с учетом потока реэмиссии
Дубровский В.Г.1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: dubrovskii@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 5 мая 2023 г.
Принята к печати: 5 мая 2023 г.
Выставление онлайн: 18 июня 2023 г.

Получено уравнение роста наномембран полупроводниковых соединений III-V на подложках с одномерными массивами полосков в оксидной маске с учетом потока реэмиссии элемента группы III. Показано, что высота наномембран увеличивается с увеличением расстояния между ними и уменьшением ширины мембран. Кинетика роста наномембран на маскированных подложках и их морфология сильно отличаются от случая адсорбирующих подложек, что необходимо учитывать при проведении ростовых экспериментов. Ключевые слова: полупроводниковые соединения III-V, наномембраны, поток реэмиссии, скорость роста, моделирование.