Спектроскопия обратнорассеянных ионов низких энергий с дополнительной масс-сепарацией: аппаратная реализация и интерпретация экспериментальных данных
Министерства науки и высшего образования РФ , Государственное задание, FSSN-2020-0003
Толстогузов А.Б.
1,2,3, Гусев С.И.
1, Fu D.J.
31Рязанский государственный радиотехнический университет, Рязань, Россия
2Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, Caparica, Portugal
3Key Laboratory of Artificial Micro- and Nanostructures of Ministry of Education and Hubei Key Laboratory of Nuclear Solid Physics, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, China
Email: a.tolstoguzov@fct.unl.pt
Поступила в редакцию: 22 июня 2022 г.
В окончательной редакции: 3 ноября 2022 г.
Принята к печати: 7 ноября 2022 г.
Выставление онлайн: 10 декабря 2022 г.
Представлены результаты аппаратной реализации и применения метода совместного энергетического и масс-спектрального анализа обратнорассеянных и распыленных ионов. На примере трехкомпонентного ювелирного сплава, содержащего золото, серебро и медь, показано, что такой подход позволяет улучшить чувствительность метода за счет подавления фона распыленных ионов, а при использовании тяжелых ионов Ar+ для образца La получить информацию о состоянии его поверхности, а также обнаружить двукратно ионизованные распыленные и рассеянные ионы аргона. Ключевые слова: ионное рассеяние, ионное распыление, масс-спектральный анализ, энергетические спектры, лантан.
- Е.С. Машкова, В.А. Молчанов, Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел (Энергоатомиздат, М., 1995)
- H.H. Brongersma, M. Draxler, M. de Ridder, P. Bauer, Surf. Sci. Rep., 62 (3), 63 (2007). DOI: 10.1016/j.surfrep.2006.12.002
- O. Grizzi, M. Shi, H. Bu, J.W. Rabalais, Rev. Sci. Instrum., 61 (2), 740 (1990). DOI: 10.1063/1.1141488
- H.H. Brongersma, T. Grehl, P.A. van Hal, N.C.W. Kuijpers, S.G.J. Mathijssen, E.R. Schofield, R.A.P. Smith, H.R.J. ter Veen, Vacuum, 84 (8), 1005 (2010). DOI: 10.1016/j.vacuum.2009.11.016
- https://www.iontof.com/qtac-low-energy-ion-scattering-leis- surface-analysis.html (дата обращения 21.06.2022)
- R.M. Singhania, H. Price, V.Y. Kounga, B. Davis, P. Bruner, R. Thorpe, D.J. Hynek, J.J. Cha, N.C. Strandwitz, J. Vac. Sci. Technol. A, 39 (6), 063210 (2021). DOI: 10.1116/6.0001164
- T.G. Avval, S. Pruvsa, S.C. Chapman, M.R. Linford, T. vSikola, H.H. Brongersma, Surf. Sci. Spectra, 28 (1), 014201 (2021). DOI: 10.1116/6.0000953
- A. Benninghoven, F.G. Rudenauer, H.W. Werner, Secondary ion mass spectrometry. Basic concepts, instrumental aspects, applications, and trends (Wiley, N.Y., 1987)
- M. Grundner, W. Heiland, E. Taglauer, Appl. Phys., 4 (3), 243 (1974). DOI: 10.1007/BF00884235
- K. Franzreb, A. Pratt, S. Splinter, P. van der Heide, Surf. Interface Anal., 26 (8), 597 (1998). 8.412 DOI: 10.1002/(SICI)1096-9918(199807)26:8<597::AID-SIA399> 3.0.CO;2-I
- K. Wittmaack, Surf. Sci., 345 (1-2), 110 (1996). DOI: 10.1016/0039-6028(95)00876-4
- A. Tolstogouzov, S. Daolio, C. Pagura, C.L. Greenwood, Int. J. Mass Spectrom., 214 (3), 327 (2002). DOI: 10.1016/S1387-3806(02)00523-7
- S. Daolio, C. Pagura, A. Tolstogouzov, Appl. Surf. Sci., 222 (1-4), 166 (2004). DOI: 10.1016/j.apsusc.2003.08.005
- N.V. Mamedov, D.N. Sinelnikov, V.A. Kurnaev, D.V. Kolodko, I.A. Sorokin, Vacuum, 148, 248 (2018). DOI: 10.1016/j.vacuum.2017.11.026
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.