Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2022, выпуск 23 » Статья стр. 22
<<<>>>
Определение толщин и глубин залегания подповерхностных наноструктур с помощью сканирующего электронного микроскопа
DOI: 10.21883/PJTF.2022.23.53947.19361
Переводная версия: 10.21883/TPL.2022.12.54939.19361
Рау Э.И. 1, Зайцев С.В.1, Караулов В.Ю.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: rau@phys.msu.ru, zai336@mail.ru, x3llp1x@gmail.ru
Поступила в редакцию: 12 сентября 2022 г.
В окончательной редакции: 12 октября 2022 г.
Принята к печати: 12 октября 2022 г.
Выставление онлайн: 13 ноября 2022 г.
PDF версия
Выведены расчетные соотношения сигнала обратнорассеянных электронов для многослойных наноструктур в зависимости от энергии зондирующих электронов и состава многокомпонентных образцов. По экспериментально измеренным сигналам и расчетным соотношениям определены не только толщины, но и впервые глубины залегания локальных микронеоднородностей трехмерных наноструктур. Исследования проведены неразрушающим методом детектирования обратнорассеянных электронов в сканирующем электронном микроскопе. Ключевые слова: многослойные наноструктуры, сканирующая электронная микроскопия.
  1. L. Reimer, Scanning electron microscopy physics of image formation and microanalysis, 2nd ed. (Springer, Berlin, 1998)
  2. H. Niedrig, J. Appl. Phys., 53 (4), R15 (1982). DOI: 10.1063/1.331005
  3. F. Schlichting, D. Berger, H. Niedrig, Scanning, 21 (3), 197 (1999). DOI: 10.1002/sca.4950210305
  4. С.Ю. Купреенко, Н.А. Орликовский, Э.И. Рау, А.М. Тагаченков, А.А. Татаринцев, ЖТФ, 85 (10), 101 (2015). [S.Yu. Kupreenko, N.A. Orlikovskii, E.I. Rau, A.M. Tagachenkov, A.A. Tatarintsev, Tech. Phys., 60 (10), 1515 (2015). DOI: 10.1134/S1063784215100205]
  5. В.П. Афанасьев, П.С. Капля, И.А. Костановский, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 2, 30 (2013)
  6. E.I. Rau, V.Yu. Karaulov, S.V. Zaitsev, Rev. Sci. Instrum., 90 (2), 023701 (2019). DOI: 10.1063/1.5054746
  7. В.В. Забродский, С.В. Зайцев, В.Ю. Караулов, Э.И. Рау, В.А. Смоляр, Е.В. Шерстнев, Изв. РАН. Сер. физ., 83 (11), 1488 (2019). DOI: 10.1134/S0367676519110280 [V.V. Zabrodsky, S.V. Zaitsev, V.Yu. Karaulov, E.I. Rau, V.A. Smolyar, E.V. Sherstnev, Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 83 (11), 1357 (2019). DOI: 10.3103/S1062873819110273]
  8. H.J. Fitting, J. Electron Spectr. Relat. Phenom., 136 (3), 265 (2004). DOI: 10.1016/j.elspec.2004.04.003
  9. P.B. De Nee, in Scanning electron microscopy, ed. by O. Johari (SEM., Inc., O'Hare, III, N.Y., 1978), vol. 1, p. 741
  10. M. Dapor, N. Bazzanella, L. Toniutti, A. Miotello, M. Crivellari, S. Gialanella, Surf. Interface Anal., 45 (2), 677 (2013). DOI: 10.1002/sia.5144
  11. V.E. Cosslett, R.N. Thomas, Brit. J. Appl. Phys., 15 (8), 883 (1964). DOI: 10.1088/0508-3443/15/8/303

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme