Определение толщин и глубин залегания подповерхностных наноструктур с помощью сканирующего электронного микроскопа
Рау Э.И.
1, Зайцев С.В.
1, Караулов В.Ю.
11Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: rau@phys.msu.ru, zai336@mail.ru, x3llp1x@gmail.ru
Поступила в редакцию: 12 сентября 2022 г.
В окончательной редакции: 12 октября 2022 г.
Принята к печати: 12 октября 2022 г.
Выставление онлайн: 13 ноября 2022 г.
Выведены расчетные соотношения сигнала обратнорассеянных электронов для многослойных наноструктур в зависимости от энергии зондирующих электронов и состава многокомпонентных образцов. По экспериментально измеренным сигналам и расчетным соотношениям определены не только толщины, но и впервые глубины залегания локальных микронеоднородностей трехмерных наноструктур. Исследования проведены неразрушающим методом детектирования обратнорассеянных электронов в сканирующем электронном микроскопе. Ключевые слова: многослойные наноструктуры, сканирующая электронная микроскопия.
- L. Reimer, Scanning electron microscopy physics of image formation and microanalysis, 2nd ed. (Springer, Berlin, 1998)
- H. Niedrig, J. Appl. Phys., 53 (4), R15 (1982). DOI: 10.1063/1.331005
- F. Schlichting, D. Berger, H. Niedrig, Scanning, 21 (3), 197 (1999). DOI: 10.1002/sca.4950210305
- С.Ю. Купреенко, Н.А. Орликовский, Э.И. Рау, А.М. Тагаченков, А.А. Татаринцев, ЖТФ, 85 (10), 101 (2015). [S.Yu. Kupreenko, N.A. Orlikovskii, E.I. Rau, A.M. Tagachenkov, A.A. Tatarintsev, Tech. Phys., 60 (10), 1515 (2015). DOI: 10.1134/S1063784215100205]
- В.П. Афанасьев, П.С. Капля, И.А. Костановский, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 2, 30 (2013)
- E.I. Rau, V.Yu. Karaulov, S.V. Zaitsev, Rev. Sci. Instrum., 90 (2), 023701 (2019). DOI: 10.1063/1.5054746
- В.В. Забродский, С.В. Зайцев, В.Ю. Караулов, Э.И. Рау, В.А. Смоляр, Е.В. Шерстнев, Изв. РАН. Сер. физ., 83 (11), 1488 (2019). DOI: 10.1134/S0367676519110280 [V.V. Zabrodsky, S.V. Zaitsev, V.Yu. Karaulov, E.I. Rau, V.A. Smolyar, E.V. Sherstnev, Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 83 (11), 1357 (2019). DOI: 10.3103/S1062873819110273]
- H.J. Fitting, J. Electron Spectr. Relat. Phenom., 136 (3), 265 (2004). DOI: 10.1016/j.elspec.2004.04.003
- P.B. De Nee, in Scanning electron microscopy, ed. by O. Johari (SEM., Inc., O'Hare, III, N.Y., 1978), vol. 1, p. 741
- M. Dapor, N. Bazzanella, L. Toniutti, A. Miotello, M. Crivellari, S. Gialanella, Surf. Interface Anal., 45 (2), 677 (2013). DOI: 10.1002/sia.5144
- V.E. Cosslett, R.N. Thomas, Brit. J. Appl. Phys., 15 (8), 883 (1964). DOI: 10.1088/0508-3443/15/8/303
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
