Новый метод изображения микрообъектов в синхротронном излучении с использованием нанофокусировки и томографии
Министерство науки и высшего образования РФ. The Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation., 075-15- 2021-1362
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ). Russian Foundation for Basic Research., 19-29-12043 мк
Министерство науки и высшего образования РФ. The Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation., 075-15-2021-1349
Кон В.Г.1, Аргунова Т.С.2
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: kohnvict@yandex.ru, argunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 августа 2022 г.
В окончательной редакции: 19 августа 2022 г.
Принята к печати: 22 августа 2022 г.
Выставление онлайн: 20 сентября 2022 г.
Предложен новый метод исследования внутренней структуры микрообъектов с помощью синхротронного излучения, основанный на поглощении. Метод регистрирует интегральную интенсивность излучения после прохождения объекта, а локальность определяется фокусировкой пучка в линию нанометровой ширины с помощью преломляющей линзы. При этом фазовый контраст не используется, результат получается сразу, а двумерное изображение объекта, т. е. зависимость его толщины от поперечных координат, вычисляется методом томографии. Метод не нуждается в сложных математических расчетах и дает результат с весьма высокой точностью. Для иллюстрации выполнена симуляция эксперимента с подложкой карбида кремния для типичных значений остальных параметров. Ключевые слова: синхротронное излучение, микрообъекты, нанофокусировка, томография, микропоры.
- A.A. Lebedev, S.Yu. Davydov, I.A. Eliseyev, A.D. Roenkov, O. Avdeev, S.P. Lebedev, Y. Makarov, M. Puzyk, S. Klotchenko, A.S. Usikov, Materials, 14 (3), 590 (2021). DOI: 10.3390/ma.14030590
- J. Shan, J. Sun, Z. Liu, ChemNanoMat, 7 (5), 515 (2021). DOI: 10.1002/cnma.202100079
- A. Snigirev, I. Snigireva, V. Kohn, S. Kuznetsov, I. Schelokov, Rev. Sci. Instrum., 66 (12), 5486 (1995). DOI: 10.1063/1.1146073
- J.-Y. Buffiere, J. Baruchel, in Synchrotron radiation: basics, methods and applications, ed. by S. Mobilio, F. Boscherini, C. Meneghini (Springer-Verlag, Berlin-Heidelberg-N.Y.-Dordrecht-London, 2015), p. 389. DOI: 10.1007/978-3-642-55315-8
- A. Snigirev, I. Snigireva, V. Kohn, V. Yunkin, S. Kuznetsov, M.V. Grigoriev, T. Roth, G. Vaughan, C. Detlefs, Phys. Rev. Lett., 103 (6), 064801 (2009). DOI: 10.1103/PhysRevLett.103.064801
- V.G. Kohn, M.S. Folomeshkin, J. Synchrotron Rad., 28 (2), 419 (2021). DOI: 10.1107/S1600577520016495
- http://kohnvict.ucoz.ru/jsp/1-crlpar.htm
- A.C. Kak, M. Slaney, Principles of computerized tomographic imaging (IEEE Press, N.Y., 1988)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
