Анализ процесса разрушения алюминия на поверхности кремния при электрическом взрыве проводника
Совет по грантам Президента Российской Федерации для государственной поддержки молодых российских ученых и по государственной поддержке ведущих научных школ Российской Федерации, грант Президента Российской Федерации для государственной поддержки молодых российских ученых - кандидатов наук (Конкурс - МК-2021)., МК-1156.2021.4
Корячко М.В.
1, Скворцов А.А.
1, Пшонкин Д.Е.
1, Володина О.В.
11Московский политехнический университет, Москва, Россия
Email: m.v.koryachko@gmail.com, skvortsovaa2009@yandex.ru, cryo140401@gmail.com, moosbeere_O@mail.ru
Поступила в редакцию: 23 декабря 2021 г.
В окончательной редакции: 14 февраля 2022 г.
Принята к печати: 27 февраля 2022 г.
Выставление онлайн: 7 апреля 2022 г.
Рассматриваются процессы формирования капель расплава алюминия, их диспергирования и динамики по поверхности полупроводника при электрическом взрыве пленки металла. Выявлено, что в условиях протекания прямоугольных импульсов тока высокой плотности (амплитудой до jmax=2· 1011 А/m2 и длительностью до 2.0 ms) через тестовую структуру на основе алюминиевой пленки (толщина 5 μm) происходит электрический взрыв проводника. При этом наблюдается диспергирование до 30% массы алюминиевой пленки. Установлено, что основным параметром, характеризующим дисперсность при разрушении алюминиевой пленки, является энергия электрического импульса. Экспериментально определено распределение закристаллизованных частиц алюминия по размеру (диаметру). Обнаружено, что наибольшее число частиц в рассматриваемых условиях разрушения имеет размер 1-3 μm. Ключевые слова: нестационарные состояния, тепловой удар, формирование капель на поверхности, нестационарный поверхностный массоперенос.
- Электрический взрыв проводников, под ред. А.А. Рухадзе, И.С. Шпигеля (Мир, М., 1965)
- В.А. Бурцев, Н.В. Калинин, А.В. Лучинский, Электрический взрыв проводников и его применение в электрофизических установках (Энергоатомиздат, М., 1990)
- R. Han, C. Li, W. Yuan, J. Ouyang, J. Wu, Y. Wang, W. Ding, Y. Zhang, High Voltage, 7 (1), 117 (2022). DOI: 10.1049/hve2.12184
- T.J. Awe, E.P. Yu, M.W. Hatch, B.T. Hutsel, B.S. Bauer, Phys. Plasmas, 28 (7), 072104 (2021). DOI: 10.1063/5.0053898
- H. Lu, X. Xu, L.-S. Xie, H.-L. Wang, G.-N. Sun, Q. Yang, Chem. Eng. Sci., 195, 720 (2019). DOI: 10.1016/J.CES.2018.10.017
- Э.С. Гринац, В.А. Жбанов, А.В. Кашеваров, А.Б. Миллер, Ю.Ф. Потапов, А.Л. Стасенко, ТВТ, 57 (2), 246 (2019). DOI: 10.1134/S0040364419020054 [E.S. Grinats, V.A. Zhbanov, A.V. Kashevarov, A.B. Miller, Yu.F. Potapov, A.L. Stasenko, High Temp., 57 (2), 222 (2019). DOI: 10.1134/S0018151X19020056]
- J. Brenneman, D.Z. Tansel, G.K. Fedder, R. Panat, Extreme Mech. Lett., 43, 101199 (2021). DOI: 10.1016/j.eml.2021.101199
- M. Nelhiebel, R. Illing, Th. Detzel, S. Wohlert, B. Auer, S. Lanzerstorfer, M. Rogalli, W. Robl, S. Decker, J. Fugger, M. Ladurner, Microelectron. Reliab., 53 (9-11), 1745 (2013). DOI: 10.1016/j.microrel.2013.07.123
- А.А. Скворцов, М.В. Корячко, М.Р. Рыбакова, Письма в ЖТФ, 46 (8), 21 (2020). DOI: 10.21883/PJTF.2020.08.49303.18210 [A.A. Skvortsov, M.V. Koryachko, M.R. Rybakova, Tech. Phys. Lett., 46 (4), 374 (2020). DOI: 10.1134/S1063785020040276]
- A.A. Skvortsov, S.M. Zuev, M.V. Koryachko, V.V. Glinskiy, Microelectron. Int., 33 (2), 102 (2016). DOI: 10.1108/MI-05-2015-0049
- A.A. Skvortsov, M.V. Koryachko, P.A. Skvortsov, M.N. Luk'yanov, J. Mater. Eng. Perform., 29 (7), 4390 (2020). DOI: 10.1007/s11665-020-04925-4
- Yu.A. Kotov, J. Nanopart. Res., 5 (5-6), 539 (2003). DOI: 10.1023/B:NANO.0000006069.45073.0b
- Y. Wang, R.E. Khayat, J. Fluid Mech., 883, A59 (2019). DOI: 10.1017/jfm.2019.924
- V.V. Shepelev, N.A. Inogamov, S.V. Fortova, Opt. Quantum Electron., 52 (2), 88 (2020). DOI: 10.1007/s11082-020-2214-0
- A. Pervikov, N. Toropkov, S. Kazantsev, O. Bakina, E. Glazkova, M. Lerner, Materials, 14 (21), 6602 (2021). DOI: 10.3390/ma14216602
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.