Вышедшие номера
Нанесение аморфного металлического покрытия на полые стеклянные микросферы
Российский фонд фундаментальных исследований, 19-08-01250
Паль А.Ф. 1, Рябинкин А.Н. 1, Серов А.О. 1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: aloleserov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 29 декабря 2021 г.
В окончательной редакции: 29 декабря 2021 г.
Принята к печати: 11 января 2022 г.
Выставление онлайн: 30 января 2022 г.

С помощью магнетронного распыления на постоянном токе получены аморфные и кристаллические металлические покрытия Pt-Zr на стеклянных полых тонкостенных сферах с диаметром в субмиллиметровом диапазоне при средней скорости нанесения 0.1 nm/s. Шероховатость полученных аморфных покрытий значительно ниже, чем у кристаллических покрытий того же состава, и находится в диапазоне 1-1.5 nm. Ключевые слова: металлические стекла, аморфные металлические пленки, магнетронное распыление, стеклянные микросферы, мишени для инерциального синтеза.