Письма в журнал технической физики
Вышедшие номера
Нанесение аморфного металлического покрытия на полые стеклянные микросферы
Российский фонд фундаментальных исследований, 19-08-01250
Паль А.Ф. 1, Рябинкин А.Н. 1, Серов А.О. 1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: aloleserov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 29 декабря 2021 г.
В окончательной редакции: 29 декабря 2021 г.
Принята к печати: 11 января 2022 г.
Выставление онлайн: 30 января 2022 г.

С помощью магнетронного распыления на постоянном токе получены аморфные и кристаллические металлические покрытия Pt-Zr на стеклянных полых тонкостенных сферах с диаметром в субмиллиметровом диапазоне при средней скорости нанесения 0.1 nm/s. Шероховатость полученных аморфных покрытий значительно ниже, чем у кристаллических покрытий того же состава, и находится в диапазоне 1-1.5 nm. Ключевые слова: металлические стекла, аморфные металлические пленки, магнетронное распыление, стеклянные микросферы, мишени для инерциального синтеза.
  1. H. Xu, H. Huang, J. Walker, C. Kong, N.G. Rice, M.P. Mauldin, J.D. Vocke, J.H. Bae, W. Sweet, F.H. Elsner, M.P. Farrell, Y.M. Wang, C. Alford, T. Cardenas, E. Loomis, Fusion Sci. Technol., 73 (3), 354 (2018). DOI: 10.1080/15361055.2017.1387459
  2. C. Horwood, M. Stadermann, T.L. Bunn, Fusion Sci. Technol., 73 (3), 335 (2018). DOI: 10.1080/15361055.2017.1387458
  3. H. Xu, C. Alford, E. Chason, A.J. Detor, T. Fuller, A.V. Hamza, J. Hayes, K.A. Moreno, A. Nikroo, T. Van Buuren, Y. Wang, J.J. Wu, H. Wilkens, K.P. Youngblood, J. Mater. Res., 27 (5), 822 (2012). DOI: 10.1557/jmr.2011.378
  4. А.Ф. Паль, А.Н. Рябинкин, А.О. Серов, Н.А. Дятко, А.Н. Старостин, А.В. Филиппов, ЖЭТФ, 141, (3), 608 (2012). http://www.jetp.ras.ru/cgi-bin/dn/r\_141\_608.pdf [A.F. Pal, A.N. Ryabinkin, A.O. Serov, N.A. Dyatko, A.N. Starostin, A.V. Filippov, JETP, 114 (3), 535 (2012). DOI: 10.1134/S1063776112020276]
  5. P. Yiu, W. Diyatmika, N. Bonninghoff, Y.-Ch. Lu, B.-Zh. Lai, J.P. Chu, J. Appl. Phys., 127 (3), 030901 (2020). DOI: 10.1063/1.5122884
  6. S.V. Ketov, X. Shi, G. Xie, R. Kumashiro, A.Y. Churyumov, A.I. Bazlov, N. Chen, Y. Ishikawa, N. Asao, H. Wu, D.V. Louzguine-Luzgin, Sci. Rep., 5 (1), 7799 (2015). DOI: 10.1038/srep07799
  7. А.Ф. Паль, А.Н. Рябинкин, А.О. Серов, Письма в ЖТФ, 46 (14), 51 (2020). DOI: 10.21883/PJTF.2020.14.49669.18167 [A.F. Pal, A.N. Ryabinkin, A.O. Serov, Tech. Phys. Lett., 46 (7), 725 (2020). DOI: 10.1134/s1063785020070238]
  8. J.A. Thornton, Thin Solid Films, 54 (1), 23 (1978). DOI: 10.1016/0040-6090(78)90273-0
  9. V.I. Shapovalov, A.E. Komlev, A.S. Bondarenko, P.B. Baykov, V.V. Karzin, Phys. Lett. A, 380 (7-8), 882 (2016). DOI: 10.1016/j.physleta.2015.12.021
  10. B.S. Murty, D.H. Ping, M. Ohnuma, K. Hono, Acta Mater., 49 (17), 3453 (2001). DOI: 10.1016/S1359-6454(01)00254-3
  11. Y.H. Liu, T. Fujita, A. Hirata, S. Li, H.W. Liu, W. Zhang, A. Inoue, M.W. Chen, Intermetallics, 21 (1), 105 (2012). DOI: 10.1016/j.intermet.2011.10.007
  12. B. Window, N. Savvides, J. Vac. Sci. Technol. A, 4 (2), 196 (1986). DOI: 10.1116/1.573470

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.