"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Фоторезистор инфракрасного излучения на основе кремния с нанокластерами атомов марганца
Бахадирханов М.К.1, Ибодуллаев Ш.Н.1, Зикриллаев Н.Ф.1, Ковешников С.В.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: shakhboz.ibodullayev.92@inbox.ru
Поступила в редакцию: 13 октября 2020 г.
В окончательной редакции: 30 марта 2021 г.
Принята к печати: 1 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 4 мая 2021 г.

Показана возможность использования кремния с нанокластерами атомов марганца для создания фоторезисторов в области спектра λ=1.2-3 μm. Установлено, что такие фотоприемники обладают пороговой чувствительностью порядка 10-11 W на длине волны 1.55 μm. Квантовая эффективность на длине волны 2 μm превышает 10% и составляет 0.1% на длине волны 2.5 μm, что позволяет использовать примесную фоточувствительность кремния с нанокластерами атомов марганца для создания высокоразрешающих матричных фотоприемников, работающих в спектральном диапазоне до 2.5 μm. Ключевые слова: кремний, кластер марганца, фоточувствительность.
  1. М.А. Тришенков, И.И. Таубкин, А.М. Филачев, Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы, N 1 (224), 31 (2010)
  2. Е. Певцев, В. Чернокнижин, Электронные компоненты, N 1-3, 12 (2001)
  3. В.И. Стафеев, К.О. Болтарь, ФТП, 39 (10), 1257 (2005)
  4. В. Волков, Электронные компоненты, N 1, 1 (2008)
  5. М.К. Бахадырханов, К.С. Аюпов, Г.Х. Мавлянов, Х.М. Илиев, С.Б. Исамов, Микроэлектроника, 39 (6), 426 (2010)
  6. Б.А. Абдурахманов, К.С. Аюпов, М.К. Бахадырханов, Х.М. Илиев, Н.Ф. Зикриллаев, З.М. Сапарниязова, Доклады АН Республики Узбекистан, N 4, 32 (2010)
  7. М.К. Бахадырханов, Г.X. Мавлонов, С.Б. Исамов, X.М. Илиев, К.С. Аюпов, З.М. Сапарниязова, С.А. Тачилин, Неорган. материалы, 47 (5), 545 (2011)
  8. А.К. Будтолаев, А.К. Будтолаева, Н.В. Кравченко, П.Е. Хакуашев, И.В. Чинарёва, М.А. Тришенков, Успехи прикл. физики, 6 (6), 494 (2018)
  9. М.Л. Бараночников, Приемники и детекторы излучений: справочник (ДМК Пресс, М., 2012)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.