Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2021, выпуск 8 » Статья стр. 25
<<<>>>
Энергетические распределения вторичных заряженных частиц при распылении газовыми кластерными ионами
DOI: 10.21883/PJTF.2021.08.50849.18657
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Государственное задание Ярославского Государственного Университета имени П.Г. Демидова, 0856-2020-0006
Иешкин А.Е. 1,2, Татаринцев А.А. 1, Киреев Д.С.1, Бачурин В.И. 2, Рудый А.С. 2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
Email: ieshkin@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2020 г.
В окончательной редакции: 8 января 2021 г.
Принята к печати: 11 января 2021 г.
Выставление онлайн: 19 февраля 2021 г.
PDF версия
Проведено экспериментальное исследование энергетических спектров заряженных частиц, эмитированных из поликристаллической меди при облучении кластерными ионами аргона и ксенона. Положительные частицы, выбитые кластерными ионами, имеют существенно меньшие энергии, чем при распылении атомарным аргоном. Спектры заряженных частиц, эмитированных при бомбардировке кластерами ксенона, систематически уже, чем аналогичные спектры, полученные при бомбардировке кластерами аргона. Обнаруженные закономерности могут быть объяснены с точки зрения особенностей передачи энергии от кластера к мишени. Ключевые слова: кластерные ионы, распыление, ионно-электронная эмиссия, энергетические распределения.
  1. P. Sigmund, Phys. Rev., 184, 383 (1969). DOI: 10.1103/PhysRev.184.383
  2. I. Yamada, J. Matsuo, N. Toyoda, A. Kirkpatrick, Mater. Sci. Eng. R, 34, 231 (2001). DOI: 10.1016/s0927-796x(01)00034-1
  3. Z. Insepov, I. Yamada, Nucl. Instrum. Meth. B, 99, 248 (1995). DOI: 10.1016/0168-583X(95)00322-3
  4. V.S. Chernysh, A.E. Ieshkin, D.S. Kireev, A.V. Nazarov, A.D. Zavilgelsky, Surf. Coat. Technol., 388, 125608 (2020). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2020.125608
  5. Н.Г. Коробейщиков, И.В. Николаев, М.А. Роенко, Письма в ЖТФ, 45 (6), 30 (2019). DOI: 10.21883/PJTF. 2019.06.47496.17646
  6. А.Е. Иешкин, К.Д. Кушкина, Д.С. Киреев, Ю.А. Ермаков, В.С. Черныш, Письма в ЖТФ, 43 (2), 18 (2017). DOI: 10.21883/PJTF.2017.02.44182.16459
  7. X. Zeng, V. Pelenovich, A. Ieshkin, A. Danilov, A. Tolstogouzov, W. Zuo, J. Ranjana, D. Hu, N. Devi, D. Fu, X. Xiao, Rapid Commun. Mass Spectrom., 33, 1449 (2019). DOI: 10.1002/rcm.8489
  8. A.S. Ozcan, C. Lavoie, E. Alptekin, J. Jordan-Sweet, F. Zhu, A. Leith, B.D. Pfeifer, J.D. LaRose, N.M. Russell, J. Appl. Phys., 119, 155301 (2016). DOI: 10.1063/1.4947054
  9. A. Delcorte, C. Poleunis, J. Phys. Chem. C, 123, 19704 (2019). DOI: 10.1021/acs.jpcc.9b05363
  10. С.Ф. Белых, А.Б. Толстогузов, А.А. Лозован, Письма в ЖЭТФ, 101 (9), 712 (2015). DOI: 10.7868/S0370274X15090118
  11. Д.С. Киреев, А.В. Данилов, А.Е. Иешкин, В.С. Черныш, Вестн. РГРТУ, В. 66-2, 40 (2018). DOI: 10.21667/1995-4565-2018-66-4-2-40-48
  12. В.А. Курнаев, В.А. Урусов, ЖТФ, 67 (6), 86 (1997)
  13. В.М. Буханов, К.Ф. Миннебаев, И.Ф. Уразгильдин, В.С. Черныш, ЖЭТФ, 96 (4), 1505 (1989)
  14. Z. Insepov, I. Yamada, Nucl. Instrum. Meth. B, 112, 16 (1996). DOI: 10.1016/0168-583X(95)01127-7
  15. P. Sigmund, C. Claussen, J. Appl. Phys., 52, 990 (1981). DOI: 10.1063/1.328790
  16. Y. Kitazoe, N. Hiraoka, Y. Yamamura, Surf. Sci., 111, 381 (1981). DOI: 10.1016/0039-6028(81)90396-4
  17. H.D. Hagstrum, Phys. Rev., 96, 336 (1954). DOI: 10.1103/PhysRev.96.336

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme