Энергетические распределения вторичных заряженных частиц при распылении газовыми кластерными ионами
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Государственное задание Ярославского Государственного Университета имени П.Г. Демидова, 0856-2020-0006
Иешкин А.Е.
1,2, Татаринцев А.А.
1, Киреев Д.С.
1, Бачурин В.И.
2, Рудый А.С.
21Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
Email: ieshkin@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2020 г.
В окончательной редакции: 8 января 2021 г.
Принята к печати: 11 января 2021 г.
Выставление онлайн: 19 февраля 2021 г.
Проведено экспериментальное исследование энергетических спектров заряженных частиц, эмитированных из поликристаллической меди при облучении кластерными ионами аргона и ксенона. Положительные частицы, выбитые кластерными ионами, имеют существенно меньшие энергии, чем при распылении атомарным аргоном. Спектры заряженных частиц, эмитированных при бомбардировке кластерами ксенона, систематически уже, чем аналогичные спектры, полученные при бомбардировке кластерами аргона. Обнаруженные закономерности могут быть объяснены с точки зрения особенностей передачи энергии от кластера к мишени. Ключевые слова: кластерные ионы, распыление, ионно-электронная эмиссия, энергетические распределения.
- P. Sigmund, Phys. Rev., 184, 383 (1969). DOI: 10.1103/PhysRev.184.383
- I. Yamada, J. Matsuo, N. Toyoda, A. Kirkpatrick, Mater. Sci. Eng. R, 34, 231 (2001). DOI: 10.1016/s0927-796x(01)00034-1
- Z. Insepov, I. Yamada, Nucl. Instrum. Meth. B, 99, 248 (1995). DOI: 10.1016/0168-583X(95)00322-3
- V.S. Chernysh, A.E. Ieshkin, D.S. Kireev, A.V. Nazarov, A.D. Zavilgelsky, Surf. Coat. Technol., 388, 125608 (2020). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2020.125608
- Н.Г. Коробейщиков, И.В. Николаев, М.А. Роенко, Письма в ЖТФ, 45 (6), 30 (2019). DOI: 10.21883/PJTF. 2019.06.47496.17646
- А.Е. Иешкин, К.Д. Кушкина, Д.С. Киреев, Ю.А. Ермаков, В.С. Черныш, Письма в ЖТФ, 43 (2), 18 (2017). DOI: 10.21883/PJTF.2017.02.44182.16459
- X. Zeng, V. Pelenovich, A. Ieshkin, A. Danilov, A. Tolstogouzov, W. Zuo, J. Ranjana, D. Hu, N. Devi, D. Fu, X. Xiao, Rapid Commun. Mass Spectrom., 33, 1449 (2019). DOI: 10.1002/rcm.8489
- A.S. Ozcan, C. Lavoie, E. Alptekin, J. Jordan-Sweet, F. Zhu, A. Leith, B.D. Pfeifer, J.D. LaRose, N.M. Russell, J. Appl. Phys., 119, 155301 (2016). DOI: 10.1063/1.4947054
- A. Delcorte, C. Poleunis, J. Phys. Chem. C, 123, 19704 (2019). DOI: 10.1021/acs.jpcc.9b05363
- С.Ф. Белых, А.Б. Толстогузов, А.А. Лозован, Письма в ЖЭТФ, 101 (9), 712 (2015). DOI: 10.7868/S0370274X15090118
- Д.С. Киреев, А.В. Данилов, А.Е. Иешкин, В.С. Черныш, Вестн. РГРТУ, В. 66-2, 40 (2018). DOI: 10.21667/1995-4565-2018-66-4-2-40-48
- В.А. Курнаев, В.А. Урусов, ЖТФ, 67 (6), 86 (1997)
- В.М. Буханов, К.Ф. Миннебаев, И.Ф. Уразгильдин, В.С. Черныш, ЖЭТФ, 96 (4), 1505 (1989)
- Z. Insepov, I. Yamada, Nucl. Instrum. Meth. B, 112, 16 (1996). DOI: 10.1016/0168-583X(95)01127-7
- P. Sigmund, C. Claussen, J. Appl. Phys., 52, 990 (1981). DOI: 10.1063/1.328790
- Y. Kitazoe, N. Hiraoka, Y. Yamamura, Surf. Sci., 111, 381 (1981). DOI: 10.1016/0039-6028(81)90396-4
- H.D. Hagstrum, Phys. Rev., 96, 336 (1954). DOI: 10.1103/PhysRev.96.336
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
