Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2021, выпуск 4 » Статья стр. 49
<<<>>>
Осаждение фторполимерных покрытий на вращающиеся цилиндрические поверхности методом химического осаждения из газовой фазы, активированной горячей нитью
DOI: 10.21883/PJTF.2021.04.50647.18488
Переводная версия: 10.1134/S1063785021020267
Российский научный фонд, «Проведение исследований научными группами под руководством молодых ученых» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 18-79-10119
Сафонов А.И. 1, Старинский С.В.1, Суляева В.С. 2
1Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
2Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
Email: safonov@itp.nsc.ru, starikhbz@mail.ru, veronica@niic.nsc.ru
Поступила в редакцию: 29 июля 2020 г.
В окончательной редакции: 8 сентября 2020 г.
Принята к печати: 13 ноября 2020 г.
Выставление онлайн: 17 декабря 2020 г.
PDF версия
Метод химического осаждения из газовой фазы, активированной горячей нитью (hot wire chemical vapor deposition), адаптирован для осаждения фторполимерных покрытий на вращающиеся цилиндрические поверхности малого радиуса (менее 20 mm). Исследовано влияние частоты вращения поверхности на строение осаждающегося на ней тонкого фторполимерного покрытия. Обнаружено существенное изменение морфологии формируемого фторполимерного покрытия в зависимости от частоты вращения цилиндрической поверхности. Определен дополнительный параметр (частота вращения цилиндрической поверхности), варьирование которого позволяет изменять строение формируемого фторполимерного покрытия в процессе осаждения. Ключевые слова: фторполимер, осаждение, вращающиеся поверхности, HW CVD.
  1. T. Allred, J. Weibel, S. Garimella, Phys. Rev. Lett., 120, 174501 (2018). https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.1204501
  2. Y. Li, K. Zhang, M.-C. Lu, C. Duan, Int. J. Heat Mass Transfer, 99, 521 (2016). https://doi.org/10.1016/j.ijheatmasstransfer.2016.03.098
  3. И.И. Гогонин, Теплофизика и аэромеханика, 17 (2), 261 (2010). https://www.sibran.ru/upload/iblock/c61/c6187 e3b5ce5c5fe0854eba312a4eb93.pdf
  4. А.С. Суртаев, В.С. Сердюков, А.Н. Павленко, Рос. нанотехнологии, 11 (11-12), 18 (2016)
  5. Л.Б. Бойнович, А.М. Емельяненко, Успехи химии, 77 (7), 619 (2008). https://www.uspkhim.ru/php/paper \_rus.phtml?journal\_id=rc\&paper\_id=3775
  6. T. Smausz, B. Hopp, N. Kresz, J. Phys. D: Appl. Phys., 35, 1859 (2002). https://iopscience.iop.org/article/10.1088/0022-3727/35/15/307/pdf
  7. A. Satyaprasad, V. Jain, S.K. Nema, Appl. Surf. Sci., 253, 5462 (2007). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2006.12.085
  8. B. Finke, H. Testrich, H. Rebl, U. Walschus, M. Schlosser, C. Zietz, S. Staehlke, J.B. Nebe, K.D. Weltmann, J. Meichsner, M. Polak, J. Phys. D: Appl. Phys., 49, 234002 (2016). https://doi.org/10.1088/0022-3727/49/23/234002
  9. T. Oya, E. Kusano, Vacuum, 83, 564 (2009). https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2008.04.040
  10. K.K.S. Lau, J.A. Caulfield, K.K. Gleason, Chem. Mater., 12, 3032 (2000). https://doi.org/10.1021/cm000499w
  11. K.K.S. Lau, H.G. Pryce Lewis, S.J. Limb, M.C. Kwan, K.K. Gleason, Thin Solid Films, 395, 288 (2001). https://doi.org/10.1016/S0040-6090(01)01287-1
  12. A.C. Rastogi, S.B. Desu, Polymer, 46, 3440 (2005). https://doi.org/10.1016/j.polymer.2004.10.082
  13. A.I. Safonov, V.S. Sulyaeva, E.Ya. Gatapova, S.V. Starinskiy, N.I. Timoshenko, O.A. Kabov, Thin Solid Films, 653, 165 (2018). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2018.03.015
  14. D.D. Hass, Y. Marciano, H.N.G. Wadley, Surf. Coat. Technol., 185, 283 (2004). https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2003.12.027
  15. J. Benzi, X.-J. Gu, R.W. Barber, D.R. Emerson, AIAA J., 54, 670 (2016). https://doi.org/10.2514/1.J054782

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme