Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2021, выпуск 3 » Статья стр. 14
<<<>>>
Плазмохимическое и жидкостное травление в постростовой технологии каскадных солнечных элементов на основе гетероструктуры GaInP/GaInAs/Ge
DOI: 10.21883/PJTF.2021.03.50568.18446
Переводная версия: 10.1134/S1063785021020103
Малевская А.В. 1, Задиранов Ю.М. 1, Малевский Д.А. 1, Покровский П.В. 1, Ильинская Н.Д. 1, Андреев В.М. 1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: amalevskaya@mail.ioffe.ru, Zadiranov@mail.ioffe.ru, Dmalevsky@scell.ioffe.ru, P.Pokrovskiy@mail.ioffe.ru, Natalya.Ilynskaya@mail.ioffe.ru, vmandreev@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 30 июня 2020 г.
В окончательной редакции: 19 октября 2020 г.
Принята к печати: 19 октября 2020 г.
Выставление онлайн: 1 декабря 2020 г.
PDF версия
Проведены исследования и разработана технология формирования разделительной меза-структуры при создании каскадных солнечных элементов на основе гетероструктуры GaInP/GaInAs/Ge. Исследованы методы травления слоев гетероструктуры: жидкостное химическое травление в составах на основе HBr, K2Cr2O7, H2O и плазмохимическое травление в потоке рабочего газа BCl3. Проведен сравнительный анализ методов травления. Разработаны защитные маски на основе слоя фоторезиста и TiOx/SiO2. Получены каскадные солнечные элементы с низкими значениями токов утечки (менее 10-7 A при напряжении 0.5-1 V). Ключевые слова: каскадный солнечный элемент, гетероструктура, травление, меза-структура.
  1. M.A. Green, E.D. Dunlop, D.H. Levi, J. Hohl-Ebinger, M. Yoshita, A.W.Y. Ho-Baillie, Progr. Photovolt.: Res. Appl., 27 (7), 565 (2019). DOI: 10.1002/pip.3171
  2. Zh.I. Alferov, V.M. Andreev, V.D. Rumyantsev, in Concentrator photovoltaics, ed. by A. Luque, V. Andreev. Springer Ser. in Optical Sciences (Springer, Berlin-Heidelberg, 2007), vol. 130, p. 25--50. DOI: 10.1007/978-3-540-68798-6\_2
  3. M.E. Levinshtein, Semiconductor technology (Wiley-Interscience, USA, 1997)
  4. А.В. Малевская, Н.Д. Ильинская, В.М. Андреев, Письма в ЖТФ, 45 (24), 14 (2019). DOI: 10.21883/PJTF.2019.24.48795.17953
  5. Е.В. Контрош, А.В. Малевская, Н.М. Лебедева, Е.А. Гребенщикова, Л.В. Контрош, Н.Д. Ильинская, В.С. Калиновский, Альтернативная энергетика и экология, 19 (183), 70 (2015). http://dx.doi.org/10.15518/isjaee.2015.19.009
  6. Д.И. Соловецкий, Механизмы плазмохимического травления материалов. Энциклопедия низкотемпературной плазмы (Наука, М., 2000), кн. III
  7. M. de Lafontaine, E. Pargon, C. Petit-Etienne, G. Gay, A. Jaouad, M.-J. Gour, M. Volatier, S. Fafard, V. Aimez, M. Darnon, Solar Energy Mater. Solar Cells, 195, 49 (2019). https://doi.org/10.1016/j.solmat.2019.01.048
  8. F.F. Chen, J.P. Chang, Lecture notes on principles of plasma processing (Kluwer/Plenum, N.Y., 2002)
  9. Т.В. Свистова, Лучевые и плазменные технологии (ВГТУ, Воронеж, 2016)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme