Влияние кривизны поверхности на процессы физического распыления кремния ионами Ar низкой энергии
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 18-29-27001
Сычева А.А.
1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: sycheva.phys@gmail.com
Поступила в редакцию: 15 июня 2020 г.
В окончательной редакции: 18 августа 2020 г.
Принята к печати: 19 августа 2020 г.
Выставление онлайн: 30 сентября 2020 г.
Выполнено моделирование методом молекулярной динамики воздействия ионов Ar с энергией 200 eV на модели кремниевых наночастиц различного размера. На основании выполненных расчетов проанализированы механизмы физического распыления и продемонстрированы различия в процессе передачи энергии материалу мишени, которые определяются кривизной ее поверхности. Ключевые слова: физическое распыление, моделирование, молекулярная динамика, механизм, кривизна поверхности.
- Baklanov M.R., de Marneffe J.-F., Shamiryan D., Urbanowicz A.M., Shi H., Rakhimova T.V., Huang H., Ho P.S. // J. Appl. Phys. 2013. V. 113. P. 041101. DOI: 10.1063/1.4765297
- Sycheva A.A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T. // Appl. Surf. Sci. 2019. V. 475. P. 1021--1032. DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.01.078
- Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. V. 184. P. 383--416. DOI: 10.1103/PhysRev.184.383
- Hobler G., Bradley R.M., Urbassek H.M. // Phys. Rev. B. 2016. V. 93. P. 205443. DOI: 10.1103/PhysRevB.93.205443
- Hossain M.Z., Freund J.B., Johnson H.T. // J. Appl. Phys. 2012. V. 111. P. 103513. DOI: 10.1063/1.4718024
- Nietiadi M.L., Urbassek H.M. // Appl. Phys. Lett. 2013. V. 103. P. 113108 (1--4). DOI: 10.1063/1.4821294
- Nietiadi M.L., Sandoval L., Urbassek H.M., Moller W. // Phys. Rev. B. 2014. V. 90. P. 045417 (1--9). DOI: 10.1103/PhysRevB.90.045417
- Stillinger F.H., Weber T.A. // Phys. Rev. B. 1985. V. 31. P. 5262--5271. DOI: 10.1103/PhysRevB.31.5262
- Moli\`ere G. // Z. Naturforsch. A. 1947. V. 2. P. 133--145. DOI: 10.1515/zna-1947-0302
- Plimpton S. // J. Comput. Phys. 1995. V. 117. P. 1--19. DOI: 10.1006/jcph.1995.1039
- LAMMPS Molecular Dynamics Simulator [Электронный ресурс]. Режим доступа: https://lammps.sandia.gov
- Anders C., Bringa E.M., Urbassek H.M. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. 2015. V. 342. P. 234--239. DOI: 10.1016/j.nimb.2014.10.005
- Kelsall R.W., Hamley I.W., Geoghegan M. Nanoscale science and technology. Chichester: John Wiley\&Sons, 2005. 473 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
