"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Повышение эффективности и длительности эмиссии углеродных нанотрубок после обработки в плазме аммиака
Булярский С.В.1,2, Белов В.С.1,3, Кицюк Е.П.2, Лакалин А.В.1, Молоденский М.С.1, Павлов А.А.1, Рязанов Р.М.2, Терентьев А.В.1, Шаманаев А.А.2
1Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
2НПК "Технологический центр", Москва, Россия
3Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
Email: bulyar2954@mail.ru
Поступила в редакцию: 30 декабря 2019 г.
В окончательной редакции: 10 июля 2020 г.
Принята к печати: 15 июля 2020 г.
Выставление онлайн: 14 августа 2020 г.

Разработана технология легирования углеродных нанотрубок азотом в плазме аммиака. Нанотрубки, синтезированные по технологии, исключающей легирование азотом, подвергались обработке в плазме аммиака. В результате концентрация азота в нанотрубках увеличивалась в 5 раз с 0.7 до 3.6 at.%, сопротивление нанотрубок падало в 6 раз, работа выхода уменьшалась на 10%. Такое воздействие приводило к стабилизации процесса эмиссии. Ключевые слова: углеродные нанотрубки, легирование азотом, плазма аммиака, холодная эмиссия.
  1. Bargaoui Y., Troudi M., Bondavalli P., Sghaier N. // Diamond Relat. Mater. 2018. V. 84. P. 62--65. DOI: 10.1016/j.diamond.2018.03.011
  2. Zhang Y., Tan Y., Wang L., Li B., Ke Y., Liao M., Xu N., Chen J., Deng S. // Vacuum. 2020. V. 172. P. 109071 (1--6). DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.109071
  3. Parveen S., Kumar A., Husain S., Husain M. // Physica B. 2017. V. 505. P. 1--8. DOI: 10.1016/j.physb.2016.10.031
  4. Булярский С.В., Дудин А.А., Лакалин А.В., Орлов А.П., Павлов А.А., Рязанов Р.М., Шаманаев А.А. // ЖТФ. 2018. Т. 88. В. 6. С. 920--925. DOI: 10.21883/JTF.2018.06.46026.2447 [Пер. версия: 10.1134/S1063784218060099]
  5. Doping of carbon nanotubes / Eds S. Bulyarskiy, A. Saurov. Ser. NanoScience and Technology. Cham: Springer International Publ., 2017. 187 p
  6. Zhao Z., Gao C., Ma K., Lu Y. // Appl. Surf. Sci. 2020. V. 504. P. 144380 (1--6). DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.144380
  7. Kvashnin D.G., Sorokin P.B., Bruning J.W., Chernozatonskii L.A. // Appl. Phys. Lett. 2013. V. 102. P. 183112. DOI: 10.1063/1.4804375
  8. Chan K.T., Neaton J.B., Cohen M.L. // Phys. Rev. B. 2008. V. 77. P. 235430. DOI: 10.1103/PhysRevB.77.235430
  9. Maity A., Das S., Sen D., Chattopadhyay K.K. // Carbon. 2018. V. 127. P. 510--518. DOI: 10.1016/j.carbon.2017.11.018
  10. Nawn D., Banerjee D., Chattopadhyay K.K. // Diamond Relat. Mater. 2013. V. 34. P. 50--59. DOI: 10.1016/j.diamond.2013.02.001
  11. Suzuki S., Bower C., Watanabe Y., Zhou O. // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 76. P. 4007--4009. DOI: 10.1063/1.126849
  12. Kwon K.C., Choi K.S., Kim B.J., Lee J.-L., Kim S.Y. // J. Phys. Chem. C. 2012. V. 116. P. 26586--26591. DOI: 10.1021/jp3069927
  13. Xu S.-F., Yuan G., Li C., Liu W.-H., Mimura H. // J. Phys. Chem. C. 2011. V. 115. P. 8928--8933. DOI: 10.1021/jp200885m
  14. Zhao G., Zhang Q., Zhang H., Yang G., Zhou O., Qin L.-C. // Appl. Phys. Lett. 2006. V. 89. P. 263113. DOI: 10.1063/1.2420796
  15. Булярский С.В., Богданова Д.А., Кицюк Е.П., Лакалин А.В., Павлов А.А., Рязанов Р.М., Шаманаев А.А., Шаман Ю.П. // Письма в ЖТФ. 2018. Т. 44. В. 10. С. 55--60. DOI: 10.21883/PJTF.2018.10.46099.17236 [Пер. версия: 10.1134/S1063785018050164]
  16. Bulyarskiy S.V., Dudin A.A., Lakalin A.V., Orlov A.P., Pavlov A.A., Ryazanov R.M., Shamanaev A.A. // Charact. Appl. Nanomater. 2019. V. 2. DOI: 10.24294/can.v2i2.567
  17. Сауров А.Н., Булярский С.В. // Микроэлектроника. 2017. Т. 46. N 1. С. 3--13. DOI: 10.1134/S1063739717010103
  18. Usachov D., Vilkov O., Gruneis A., Haberer D., Fedorov A., Adamchuk V.K., Preobrajenski A.B., Dudin P., Barinov A., Oehzelt M., Laubschat C., Vyalikh D.V. // Nano Lett. 2011. V. 11. P. 5401--5407. DOI: 10.1021/nl2031037
  19. Arenal R., March K., Ewels C.P., Rocquefelte X., Kociak M., Loiseau A., Stephan O. // Nano Lett. 2014. V. 14. P. 5509--5516. DOI: 10.1021/nl501645g
  20. Zhang Z., Cho K. // Phys. Rev. B. 2007. V. 75. P. 075420. DOI: 10.1103/PhysRevB.75.075420

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.