Вышедшие номера
Повышение эффективности и длительности эмиссии углеродных нанотрубок после обработки в плазме аммиака
Переводная версия: 10.1134/S1063785020100193
Булярский С.В.1,2, Белов В.С.1,3, Кицюк Е.П.2, Лакалин А.В.1, Молоденский М.С.1, Павлов А.А.1, Рязанов Р.М.2, Терентьев А.В.1, Шаманаев А.А.2
1Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
2НПК "Технологический центр", Москва, Россия
3Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
Email: bulyar2954@mail.ru
Поступила в редакцию: 30 декабря 2019 г.
В окончательной редакции: 10 июля 2020 г.
Принята к печати: 15 июля 2020 г.
Выставление онлайн: 14 августа 2020 г.

Разработана технология легирования углеродных нанотрубок азотом в плазме аммиака. Нанотрубки, синтезированные по технологии, исключающей легирование азотом, подвергались обработке в плазме аммиака. В результате концентрация азота в нанотрубках увеличивалась в 5 раз с 0.7 до 3.6 at.%, сопротивление нанотрубок падало в 6 раз, работа выхода уменьшалась на 10%. Такое воздействие приводило к стабилизации процесса эмиссии. Ключевые слова: углеродные нанотрубки, легирование азотом, плазма аммиака, холодная эмиссия.