Вышедшие номера
Влияние условий магнетронного распыления на структуру Zr-Pd покрытий
Переводная версия: 10.1134/S1063785020070238
Российский фонд фундаментальных исследований, 19-08-01250
Паль А.Ф. 1, Рябинкин А.Н. 1, Серов А.О. 1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: apal@mics.msu.su, alex.ryabinkin@gmail.com, aloleserov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2019 г.
В окончательной редакции: 15 апреля 2020 г.
Принята к печати: 21 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 17 мая 2020 г.

Методом магнетронного распыления на постоянном токе получены неструктурированные аморфные металлические покрытия состава Zr75Pd25 при средней скорости нанесения 1.3 nm/s и температуре подложки 40oC, а также кристаллические покрытия при более высокой температуре. Равновесный фазовый состав кристаллического покрытия наблюдается при температуре 350oC. При промежуточной температуре в покрытиях преимущественно (по сравнению с равновесной фазой PdZr2) формируется фаза PdZr. Шероховатость полученных аморфных покрытий находится на уровне 0.2-0.5 nm, что на порядок меньше, чем у полученных кристаллических покрытий этого же состава. Ключевые слова: металлические стекла, аморфные металлические пленки, палладий, цирконий, магнетронное распыление.