Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Особенности воздействия ионов He и Ar низких энергий на нанопористые Si/SiO2-материалы
Переводная версия: 10.1134/S1063785020060140 
Российский научный фонд, 16-12-10361-П
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия 
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: sycheva.phys@gmail.com
Поступила в редакцию: 25 февраля 2020 г.
В окончательной редакции: 25 февраля 2020 г.
Принята к печати: 6 марта 2020 г.
Выставление онлайн: 8 апреля 2020 г.
Методом молекулярной динамики выполнено моделирование воздействия ионов He и Ar низких энергий (50-200 eV) на нанопористые материалы на основе Si и SiO2. Полученные результаты подтверждают наблюдаемый экспериментально эффект уплотнения приповерхностных слоев материалов с малыми размерами пор и низкой пористостью, который обусловлен инициированным ионами процессом схлопывания пор. Исследованы различия в воздействии на нанопористые материалы ионов He и Ar и влияние их энергии на интенсивность структурных изменений. Ключевые слова: low-k диэлектрики, нанопористые материалы, молекулярная динамика, схлопывание пор.
- Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Smirnov E.A., Baklanov M.R. // J. Appl. Phys. 2011. V. 109. N 4. P. 043303 (1--11). DOI: 10.1063/1.3549733
- Urbanowicz A.M., Shamiryan D., Zaka A., Verdonck P., De Gendt S., Baklanov M.R. // J. Electrochem. Soc. 2010. V. 157. N 5. P. H565--H573. DOI: 10.1149/1.3355881
- Sycheva A.A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T. // Appl. Surf. Sci. 2019. V. 475. P. 1021--1032. DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.01.078
- Voronina E.N., Sycheva A.A., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Proshina O.V., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Mankelevich Yu.A. // Plasma Process Polym. 2020. V. 17. N 2. P. 1900165 (1--15). DOI: 10.1002/ppap.201900165
- Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Mankelevich Yu.A., Rakhimov A.T., Zyryanov S.M., Kurchikov K.A., Novikova N.N., Baklanov M.R. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2015. V. 48. N 17. P. 175203(1--13). DOI: 10.1088/0022-3727/48/17/175203
- Palov A.P., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Mankelevich Yu.A., Krishtab M.B., Baklanov M.R. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2016. V. 34. N 4. P. 041205. DOI: 10.1116/1.4946838
- Stillinger F.H., Weber T.A. // Phys. Rev. B. 1985. V. 31. N 8. P. 5262--5271. DOI: 10.1103/PhysRevB.31.5262
- Munetoh S., Motooka T., Moriguchi K., Shintani A. // Comp. Mater. Sci. 2007. V. 39. N 2. P. 334--339. DOI: 10.1016/j.commatsci.2006.06.010
- Moli\`ere G. // Z. Naturforsch. A. 1947. V. 2. N 3. P. 133--145. DOI: 10.1515/zna-1947-0302
- Moore M.C., Kalyanasundaram N., Freund J.B., Johnson H.T. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. 2004. V. 225. N 3. P. 241--255. DOI: 10.1016/j.nimb.2004.04.175
- Timonova M., Lee B.-J., Thijsse B.J. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. 2007. V. 225. N 1. P. 195--201. DOI: 10.1016/j.nimb.2006.11.023
- Plimpton S. // J. Comp. Phys. 1995. V. 117. N 1. P. 1--19. DOI: 10.1006/jcph.1995.1039
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
