Особенности воздействия ионов He и Ar низких энергий на нанопористые Si/SiO2-материалы
Российский научный фонд, 16-12-10361-П
Сычева А.А.
1, Воронина Е.Н.
1,2
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: sycheva.phys@gmail.com
Поступила в редакцию: 25 февраля 2020 г.
В окончательной редакции: 25 февраля 2020 г.
Принята к печати: 6 марта 2020 г.
Выставление онлайн: 8 апреля 2020 г.
Методом молекулярной динамики выполнено моделирование воздействия ионов He и Ar низких энергий (50-200 eV) на нанопористые материалы на основе Si и SiO2. Полученные результаты подтверждают наблюдаемый экспериментально эффект уплотнения приповерхностных слоев материалов с малыми размерами пор и низкой пористостью, который обусловлен инициированным ионами процессом схлопывания пор. Исследованы различия в воздействии на нанопористые материалы ионов He и Ar и влияние их энергии на интенсивность структурных изменений. Ключевые слова: low-k диэлектрики, нанопористые материалы, молекулярная динамика, схлопывание пор.
- Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Smirnov E.A., Baklanov M.R. // J. Appl. Phys. 2011. V. 109. N 4. P. 043303 (1--11). DOI: 10.1063/1.3549733
- Urbanowicz A.M., Shamiryan D., Zaka A., Verdonck P., De Gendt S., Baklanov M.R. // J. Electrochem. Soc. 2010. V. 157. N 5. P. H565--H573. DOI: 10.1149/1.3355881
- Sycheva A.A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T. // Appl. Surf. Sci. 2019. V. 475. P. 1021--1032. DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.01.078
- Voronina E.N., Sycheva A.A., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Proshina O.V., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Mankelevich Yu.A. // Plasma Process Polym. 2020. V. 17. N 2. P. 1900165 (1--15). DOI: 10.1002/ppap.201900165
- Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Mankelevich Yu.A., Rakhimov A.T., Zyryanov S.M., Kurchikov K.A., Novikova N.N., Baklanov M.R. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2015. V. 48. N 17. P. 175203(1--13). DOI: 10.1088/0022-3727/48/17/175203
- Palov A.P., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Mankelevich Yu.A., Krishtab M.B., Baklanov M.R. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2016. V. 34. N 4. P. 041205. DOI: 10.1116/1.4946838
- Stillinger F.H., Weber T.A. // Phys. Rev. B. 1985. V. 31. N 8. P. 5262--5271. DOI: 10.1103/PhysRevB.31.5262
- Munetoh S., Motooka T., Moriguchi K., Shintani A. // Comp. Mater. Sci. 2007. V. 39. N 2. P. 334--339. DOI: 10.1016/j.commatsci.2006.06.010
- Moli\`ere G. // Z. Naturforsch. A. 1947. V. 2. N 3. P. 133--145. DOI: 10.1515/zna-1947-0302
- Moore M.C., Kalyanasundaram N., Freund J.B., Johnson H.T. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. 2004. V. 225. N 3. P. 241--255. DOI: 10.1016/j.nimb.2004.04.175
- Timonova M., Lee B.-J., Thijsse B.J. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. 2007. V. 225. N 1. P. 195--201. DOI: 10.1016/j.nimb.2006.11.023
- Plimpton S. // J. Comp. Phys. 1995. V. 117. N 1. P. 1--19. DOI: 10.1006/jcph.1995.1039
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
