Термомиграция расплавленных зон по поверхности кремния в условиях теплового удара
Российский научный фонд, Проведение инициативных исследований молодыми учеными» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 19-79-00372
Скворцов А.А.
1, Корячко М.В.
1, Рыбакова М.Р.
11Московский политехнический университет, Москва, Россия
Email: SkvortsovAA2009@yandex.ru, m.v.koryachko@gmail.com, Rybakova@gmail.com
Поступила в редакцию: 21 января 2020 г.
В окончательной редакции: 21 января 2020 г.
Принята к печати: 24 января 2020 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2020 г.
Рассматриваются вопросы формирования и миграции расплавленных зон в процессе электрического взрыва тонких пленок алюминия на окисленной поверхности кремния. Обнаружено различие в механизмах формирования и миграции оплавленных зон на поверхности в процессе прохождения токового импульса и после его отключения. Выявлено, что после отключения импульса тока миграция расплавленных зон определяется градиентом температуры вблизи локального теплового источника. По размерной зависимости скорости перемещения получены значения температурных градиентов и проведена оценка коэффициента термоупругости, определяющего динамику миграции зон в поле градиента температур. Ключевые слова: электрический взрыв, тонкие пленки, градиент температур, полупроводниковая структура.
- Suhir E. // Microelectron. Reliab. 2013. V. 53. N 7. P. 925--936
- Dietrich P. //Microelectron. Reliab. 2013. V. 53. N 9-11. P. 1681--1686
- Ghosh S. // Thin Solid Films. 2019. V. 669. P. 641--658
- Jacob P., Nicoletti G. // Microelectron. Reliab. 2013. V. 53. N 9-11. P. 1553--1557
- Lv F., Liu P., Qi H., Liu J., Sun R., Wang W. // Comput. Mater. Sci. 2019. V. 170. P. 109142
- Pervikov A.V., Lerner M.I., Bakina O.V., Lozhkomoev A.S., Glazkova E.A. // Inorgan. Mater.: Appl. Res. 2019. V. 10. N 3. P. 699--705
- Kwona Y.S., An V.V., Ilyin A.P., Tikhonov D.V. // Mater. Lett. 2007. V. 61. N 14-15. P. 3247--3250
- Peng C., Wang J., Zhou N., Sun G. // Current Appl. Phys. 2016. V. 16. N 3. P. 284--287
- Nelhiebel M., Illing R., Detzel Th., Wohlert S., Auer B., Lanzerstorfer S., Rogalli M., Robl W., Decker S., Fugger J., Ladurner M. // Microelectron. Reliab. 2013. V. 53. N 9-11. P. 1745--1749
- Гринац Э.С., Жбанов В.А., Кашеваров А.В., Миллер А.Б., Потапов Ю.Ф., Стасенко А.Л. // ТВТ. 2019. Т. 57. N 2. С. 246--252
- Lu H., Xu X., Xie L.-S., Wang H.-L., Sun G.-N., Yang Q. // Chem. Eng. Sci. 2019. V. 195. P. 720--729
- Скворцов А.А., Орлов А.М., Мурадов В.Е. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 13. С. 41--48
- Skvortsov A.A., Zuev S.M., Koryachko M.V., Glinskiy V.V. // Microelectron. Int. 2016. V. 33. N 2. P. 102--106
- Skvortsov A.A., Zuev S.M., Koryachko M.V., Skvortsova A.A. // Periodico Tch\^e Quim. 2019. V. 16. P. 448--456
- Быховский А.И., Пролесковская А.Ю. О кинетике растекания капли жидкости по твердой поверхности в условиях постоянного градиента температур // Поверхностные силы в тонких и дисперсных системах. М.: Наука, 1972. 328 с
- Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
- Гегузин Я.Е., Кривоглаз М.А. Движение макроскопических включений в твердых телах. М.: Металлургия, 1971. 344 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
