"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Особенности импульсного лазерного отжига пленок ВС3 на сапфировой подложке
Переводная версия: 10.1134/S1063785019050055
Russian Science Foundation , 17-12-01535
Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation , Scientific Research Organization, 3.4639.2017/6.7
Фоминский В.Ю. 1, Романов Р.И. 1, Соловьев A.A.1, Васильевский И.С. 1, Сафонов Д.А.1, Иванов А.А. 1, Зинин П.В.2, Филоненко В.П. 3
1Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
2Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва, Россия
3Институт физики высоких давлений им. Л.Ф. Верещагина РАН, Троицк, Москва, Россия
Email: vyfominskij@mephi.ru, RIRomanov@mephi.ru, ivasilevskii@mail.ru, safonov.dan@mail.ru, aaivanov@mephi.ru, vpfil@mail.ru
Поступила в редакцию: 1 февраля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2019 г.

Исследованы морфология, химический состав, микроструктура и электрические свойства тонких пленок ВС3, подвергнутых плавлению наносекундным лазерным импульсом. Исходные пленки создавались импульсным лазерным соосаждением В и С на сапфировую подложку при 150 и 350oC. Морфологические изменения в пленках зависели от их исходного структурного состояния. Однако "замораживаемая" после облучения структура в обеих пленках соответствовала В-насыщенной графитоподобной фазе, локальный состав которой варьировался вследствие образования включений аморфного карбида бора. До и после облучения пленки проявляли слабо убывающую с ростом температуры от 4.2 до 330 K зависимость поверхностного сопротивления. После лазерного облучения сопротивление пленок уменьшилось в ~2.6 раза.
  1. Bhaumik A., Sachan R., Gupta S., Narayan J. // ACS Nano. 2017. V. 11. N 12. P. 11915--11922
  2. Bhaumik A., Sachan R., Narayan J. // J. Appl. Phys. 2017. V. 122. N 4. P. 045301
  3. Gupta S., Sachan R., Bhaumik A., Pant P., Narayan J. // MRS Commun. 2018. V. 8. N 2. P. 533--540
  4. Bhaumik A., Nori S., Sachan R., Gupta S., Kumar D., Majumdar A.K., Narayan J. // ACS Appl. Nano Mater. 2018. V. 1. N 2. P. 807--819
  5. Романов Р.И., Фоминский В.Ю., Зинин П.В., Троян И.А., Фоминский Д.В., Джумаев П.С., Филоненко В.П. // Письма в ЖТФ. 2018. Т. 44. В. 12. С. 16--24
  6. Song W., Kim Y., Jung D.S., Lee S., Jung W., Kwon O., Kim H.K., Kim M.S., An K.S., Park C.-Y. // Appl. Surf. Sci. 2013. V. 284. P. 53--58
  7. Fominski V.Yu., Romanov R.I., Smurov I., Smirnov A.L. // J. Appl. Phys. 2003. V. 93. N 10. P. 5989--5999
  8. Zinin P.V., Liu Y., Burgess K., Ciston J., Jia R., Hong S., Sharma S., Ming L.-C. // J. Appl. Phys. 2014. V. 116. N 13. P. 133519
  9. Resseguier T., Kurakevych O.O., Chabot A., Petitet J.P., Solozhenko V.L. // J. Appl. Phys. 2010. V. 108. N 8. P. 083522
  10. Zinin P.V., Liu X.R., Ming L.C., Sharma S.K., Liu Y., Hong S.M. // Diamond Relat. Mater. 2009. V. 18. N 9. P. 1123--1128

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.