Особенности импульсного лазерного отжига пленок ВС3 на сапфировой подложке
Russian Science Foundation , 17-12-01535
Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation , Scientific Research Organization, 3.4639.2017/6.7
Фоминский В.Ю.
1, Романов Р.И.
1, Соловьев A.A.
1, Васильевский И.С.
1, Сафонов Д.А.
1, Иванов А.А.
1, Зинин П.В.
2, Филоненко В.П.
31Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
2Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва, Россия
3Институт физики высоких давлений им. Л.Ф. Верещагина РАН, Троицк, Москва, Россия
Email: vyfominskij@mephi.ru, RIRomanov@mephi.ru, ivasilevskii@mail.ru, safonov.dan@mail.ru, aaivanov@mephi.ru, vpfil@mail.ru
Поступила в редакцию: 1 февраля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2019 г.
Исследованы морфология, химический состав, микроструктура и электрические свойства тонких пленок ВС3, подвергнутых плавлению наносекундным лазерным импульсом. Исходные пленки создавались импульсным лазерным соосаждением В и С на сапфировую подложку при 150 и 350oC. Морфологические изменения в пленках зависели от их исходного структурного состояния. Однако "замораживаемая" после облучения структура в обеих пленках соответствовала В-насыщенной графитоподобной фазе, локальный состав которой варьировался вследствие образования включений аморфного карбида бора. До и после облучения пленки проявляли слабо убывающую с ростом температуры от 4.2 до 330 K зависимость поверхностного сопротивления. После лазерного облучения сопротивление пленок уменьшилось в ~2.6 раза.
- Bhaumik A., Sachan R., Gupta S., Narayan J. // ACS Nano. 2017. V. 11. N 12. P. 11915--11922
- Bhaumik A., Sachan R., Narayan J. // J. Appl. Phys. 2017. V. 122. N 4. P. 045301
- Gupta S., Sachan R., Bhaumik A., Pant P., Narayan J. // MRS Commun. 2018. V. 8. N 2. P. 533--540
- Bhaumik A., Nori S., Sachan R., Gupta S., Kumar D., Majumdar A.K., Narayan J. // ACS Appl. Nano Mater. 2018. V. 1. N 2. P. 807--819
- Романов Р.И., Фоминский В.Ю., Зинин П.В., Троян И.А., Фоминский Д.В., Джумаев П.С., Филоненко В.П. // Письма в ЖТФ. 2018. Т. 44. В. 12. С. 16--24
- Song W., Kim Y., Jung D.S., Lee S., Jung W., Kwon O., Kim H.K., Kim M.S., An K.S., Park C.-Y. // Appl. Surf. Sci. 2013. V. 284. P. 53--58
- Fominski V.Yu., Romanov R.I., Smurov I., Smirnov A.L. // J. Appl. Phys. 2003. V. 93. N 10. P. 5989--5999
- Zinin P.V., Liu Y., Burgess K., Ciston J., Jia R., Hong S., Sharma S., Ming L.-C. // J. Appl. Phys. 2014. V. 116. N 13. P. 133519
- Resseguier T., Kurakevych O.O., Chabot A., Petitet J.P., Solozhenko V.L. // J. Appl. Phys. 2010. V. 108. N 8. P. 083522
- Zinin P.V., Liu X.R., Ming L.C., Sharma S.K., Liu Y., Hong S.M. // Diamond Relat. Mater. 2009. V. 18. N 9. P. 1123--1128
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
