Вышедшие номера
Исследование состава и фазового состояния тонких пленок цирконата-титаната свинца, полученных высокочастотным магнетронным осаждением, при изменении давления рабочего газа
Переводная версия: 10.1134/S1063785019030258
Долгинцев Д.М.1, Пронин В.П.1, Каптелов Е.Ю.1,2, Сенкевич С.В.1,2, Пронин И.П.1,2
1Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 6 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2019 г.

Вариации давления рабочей газовой смеси (от 8 до 2 Pa) при высокочастотном магнетронном осаждении тонких перовскитовых пленок цирконата-титаната свинца позволили выявить сильное изменение содержания свинца, которое опускалось ниже стехиометрического и приводило в процессе высокотемпературного отжига к образованию двухфазной (перовскит-пирохлор) структуры. Измерения состава в перовскитовых островках двухфазных пленок показали, что содержание свинца в них равно стехиометрическому или превышает его. На основании полученных данных делается вывод об отсутствии в полученных пленках вакансий свинца.