Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2019, выпуск 6 » Статья стр. 3
>>>
Исследование состава и фазового состояния тонких пленок цирконата-титаната свинца, полученных высокочастотным магнетронным осаждением, при изменении давления рабочего газа
DOI: 10.21883/PJTF.2019.06.47488.17628
Переводная версия: 10.1134/S1063785019030258
Долгинцев Д.М.1, Пронин В.П.1, Каптелов Е.Ю.1,2, Сенкевич С.В.1,2, Пронин И.П.1,2
1Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 6 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2019 г.
PDF версия
Вариации давления рабочей газовой смеси (от 8 до 2 Pa) при высокочастотном магнетронном осаждении тонких перовскитовых пленок цирконата-титаната свинца позволили выявить сильное изменение содержания свинца, которое опускалось ниже стехиометрического и приводило в процессе высокотемпературного отжига к образованию двухфазной (перовскит-пирохлор) структуры. Измерения состава в перовскитовых островках двухфазных пленок показали, что содержание свинца в них равно стехиометрическому или превышает его. На основании полученных данных делается вывод об отсутствии в полученных пленках вакансий свинца.
  1. Яффе Б., Кук У., Яффе Г. Пьезоэлектрическая керамика. М.: Мир, 1974. 288 с
  2. Xu Y. Ferroelectric materials and their applications. Amsterdam-London-N.Y.-Tokyo: North Holland, 1991. 391 p
  3. Muralt P. // J. Am. Ceram. Soc. 2008. V. 91. N 5. P. 1385--1396. DOI: 10.1111/j.1551-2916.2008.02421.x
  4. Kang M.-G., Jung W.-S., Kang Ch.-Y., Yoon S.-J. // Actuators. 2016. V. 5. N 1. P. 5 (1--17). DOI: 10.3390/act5010005
  5. Окадзаки К. Технология керамических диэлектриков. М.: Энергия, 1976. 336 с
  6. Yamakawa K., Arisumi O., Okuwada K., Tsutsumi K., Katata T. // Proc. of Eleventh IEEE Int. Symp. on applications of ferroelectrics. Montreux, Switzerland, 1998. P. 159--162
  7. Афанасьев В.П., Мосина Г.Н., Петров А.А., Пронин И.П., Сорокин Л.М., Тараканов Е.А. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 11. С. 56--63
  8. Афанасьев В.П., Воротилов К.А., Мухин Н.В. // Физика и химия стекла. 2016. Т. 42. В. 3. С. 410--419
  9. Dawber M., Rabe K.M., Scott J.F. // Rev. Mod. Phys. 2005. V. 77. P. 1083--1130. DOI: 10.1103/RevModPhys.77.1083
  10. Пронин И.П., Тараканов Е.А., Каптелов Е.Ю., Шаплыгина Т.А., Афанасьев В.П., Панкрашкин А.В. // ФТТ. 2002. Т. 44. В. 4. С. 739--744
  11. Kholkin A.L., Brooks K.G., Taylor D.V., Hiboux S., Setter N. // Integr. Ferroelectrics. 1998. V. 22. P. 525--533. DOI: 10.1080/10584589808208071
  12. Aggarwal S., Madhukar S., Nagaraj B., Jenkins I.G., Ramesh R., Boyer L., Evans J.T., Jr. // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 75. P. 716--718. DOI: 10.1063/1.124492
  13. Yang J.-S., Kang Y.-S., Kang I.-Y., Lim S.-M., Shin S.-J., Lee J.W., Hur K.-H. // IEEE Transact. Ultrason. Ferroelectrics Frequency Control. 2017. V. 64. N 3. P. 617--622. DOI: 10.1109/TUFFC.2017.2647971
  14. Klee M., de Veirman A., Taylor D.J., Larsen P.K. // Integr. Ferroelectrics. 1994. V. 4. P. 197--206. DOI: 10.1080/10584589408017022
  15. Lee J., Ramesh R. // Appl. Phys. Lett. 1996. V. 68. P. 484--486. DOI: 10.1063/1.116421
  16. Hiboux S., Muralt P. // Integr. Ferroelectrics. 2001. V. 36. P. 83--92. DOI: 10.1080/10584580108015530
  17. He C., Wang Z.-J., Li X.-Zh., Yang X.-M., Long X.-F., Ye Z.-G. // Acta Mater. 2017. V. 125. P. 498--505. DOI: 10.1016/j.actamat.2016.12.017

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme