Сравнительный фотолюминесцентный анализ точечных дефектов в SiO2, индуцированных имплантацией ионов Ar+ и облучением нейтронами
Щербаков И.П.1, Чмель А.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: chmel@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 27 ноября 2018 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2019 г.
Внедрение ионов Si+ и других элементов в аморфный диоксид кремния при их взаимодействии вызывает повреждение структурных связей, наблюдаемых по полосам колебательных спектров. Оптических переходов беспримесный SiO2 не имеет, но при внедрении ионов/нейтронов в спектре фотолюминесценции появляются полосы наведенных точечных дефектов. Проведено сравнение генерации активных в фотолюминесценции дефектов потоками ионов Ar+ и тепловых нейтронов. Показано, что характер повреждения структуры связан как со спецификой синтеза/обработки материала, так и с особенностями взаимодействия с веществом ионов (атомные столкновения) и нейтронов (столкновения с ядрами атомов).
- Гисматулин А.А., Камаев Г.Н. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 11. С. 73--81
- Chinellato V., Gottardi V., Lo Russo S., Mazzoldi P., Nicoletti F., Pollato P. // Rad. Eff. 1982. V. 65. N 1-4. P. 31--39
- Забежайлов М.О., Томашук А.Л., Николин И.В., Плотниченко В.Г., Крюкова Е.Б., Колташев В.В. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. В. 12. С. 16--20
- Flores F., Aceves M., Dominguez C., Falcony C. // Superficies y Vacio. 2005. V. 18. N 2. P. 7--13
- Zhang J.-Y., Bao X.-M., Li N.-Sh., Song H.-Z. // J. Appl. Phys. 1998. V. 83. N 7. P. 3609--3615
- Cheang-Wong J.C., Oliver A., Roiz J., Hernandez J.M., Rodrii guez-Fernandez L., Morales J.G., Crespo-Sosa A. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. 2001. V. 175-177. P. 490--494
- Zhao Y., Hou Sh., Liang X.J., Fang L.G., Sheng G.H., Xu F. // Adv. Mater. Res. 2011. V. 160-162. P. 1450--1457
- Козлов Э.В., Рябчиков А.И., Шаркеев Ю.П., Курзина И.А., Степанов И.Б., Фортуна С.В., Сивин Д.О., Прокопова Т.С., Мельник И.А. // 5-й Междунар. уральский семинар "Радиационная физика металлов и сплавов. Сб. трудов. Снежинск, 2003. С. 28--29
- Tetelbaum D.I., Gorshkov O.N., Ershov A.V., Kasatkin P., Kamin V.A., Mikhaylov A.N., Belov A.I., Gaponova D.M., Pavesi L., Ferraioli L., Finstad T.G., Foss S. // Thin Solid Films. 2006. V. 515. N 1. P. 333--337
- Vaccaro L., Cannas M., Radzig V. // J. Non-Cryst. Solids. 2009. V. 355. N 18-21. P. 1020--1023
- Morimoto Y., Weeks R.A., Barnes A.V., Tolk N.H. // J. Non-Cryst. Solids. 1996. V. 196. P. 106--112
- Kawaguchi Y. // Phys. Rev. B. 1996. V. 54. N 14. P. 9721--9724
- Zhu M., Han Y. // J. Appl. Phys. 1998. V. 83. N 10. P. 5386--5391
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.