Вышедшие номера
Экспериментальное наблюдение эффекта ограничения каскада столкновений при распылении пористого кремния
Переводная версия: 10.1134/S1063785019010267
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Конкурс проектов фундаментальных научных исследований, 18-02-00565
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Конкурс проектов фундаментальных научных исследований, 16-02-01100
Иешкин А.Е. 1, Толстогузов А.Б. 2,3,4, Свяховский C.Е. 1, Дроздов М.Н. 5, Пеленович В.О.4
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Рязанский государственный радиотехнический университет, Рязань, Россия
3Centre for Physics and Technological Research (CeFITec), Dept. de Fi sica da Faculdade de Ci^encias e Tecnologia, Universidade Nova de Lisboa, Caparica, Portugal
4Key Laboratory of Artificial Micro- and Nanostructures of Ministry of Education and Hubei Key Laboratory of Nuclear Solid Physics, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, China
5Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: ieshkin@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 16 октября 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2018 г.

Представлены результаты исследования масс-спектров вторичных ионов из образцов массивного кремния и пористого кремния с различными характерными размерами остова. Показано, что в случае распыления наноструктурированных образцов существенно возрастает относительный выход массивных кластерных ионов, причем при приближении характерного размера наночастиц к значениям пробега ионов в мишени этот эффект выражен наиболее ярко. Полученные результаты объяснены с точки зрения ограничения каскадов атомных столкновений в объеме образца.
  1. Krasheninnikov A.V., Nordlund K. // J. Appl. Phys. 2010. V. 107. P. 071301. DOI: 10.1063/1.3318261
  2. Paes V.Z.C., Castegnaro M.V., Baptista D.L., Grande P.L., Morais J. // J. Phys. Chem. C. 2017. V. 121. P. 19461-19466
  3. Urbassek H.M., Bradley R.M., Nietiadi M.L., Moller W. // Phys. Rev. B. 2015. V. 91. P. 165418. DOI: 10.1103/PhysRevB.91.165418
  4. Nietiadi M.L., Sandoval L., Urbassek H.M., Moller W. // Phys. Rev. B. 2014. V. 90. P. 045417. DOI: 10.1103/PhysRevB.90.045417
  5. Greaves G., Hinks J.A., Busby P., Mellors N.J., Ilinov A., Kuronen A., Nordlund K., Donnelly S.E. // Phys. Rev. Lett. 2013. V. 111. P. 065504. DOI: 10.1103/PhysRevLett.111.065504
  6. Sandoval L., Urbassek H.M. // Nanoscale Res. Lett. 2015. V. 10. P. 314. DOI: 10.1186/s11671-015-1009-x
  7. Pinnick V., Rajagopalachary S., Verkhoturov S.V., Kaledin L., Schweikert E.A. // Anal. Chem. 2008. V. 80. P. 9052-9057. DOI: 10.1021/ac8014615
  8. Ieshkin A.E., Svyakhovskiy S.E., Chernysh V.S. // Vacuum. 2018. V. 148. P. 272-275. DOI: 10.1016/j.vacuum.2017.11.034
  9. www.srim.org
  10. Белых С.Ф., Толстогузов А.Б., Лозован А.А. // Поверхность. 2015. N 11. С. 28-35. DOI: 10.7868/S0207352815110074

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.