Вышедшие номера
Исследование омических контактов мощных фотоэлектрических преобразователей
Переводная версия: 10.1134/S1063785019010140
Малевская А.В.1, Хвостиков В.П.1, Солдатенков Ф.Ю.1, Хвостикова О.А.1, Власов А.С.1, Андреев В.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: amalevskaya@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 27 сентября 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2018 г.

Проведены исследования и разработана технология изготовления омических контактов мощных фотоэлектрических преобразователей на основе AlGaAs/GaAs. Исследовано влияние уровня легирования контактного слоя на величину концентрации свободных носителей и значение контактного переходного сопротивления. Проведено исследование технологии создания омических контактов толщиной 2-4 mum с использованием метода электрохимического осаждения слоев золота. Выявлено влияние режимов осаждения на морфологию поверхности омических контактов, монолитность структуры контактов и их электрическую проводимость.