"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование полых свинцовых структур на поверхности пленок PbSe при обработке в аргоновой плазме
Зимин С.П.1, Амиров И.И.2, Наумов В.В.2, Гусева К.Е.1
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
2Ярославский филиал Физико-технологического института РАН, Ярославль, Россия
Email: zimin@uniyar.ac.ru
Поступила в редакцию: 5 марта 2018 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2018 г.

Предложены условия плазменного распыления эпитаксиальных систем PbSe/CaF2/Si(111) в высокоплотной аргоновой плазме высокочастотного индукционного разряда низкого давления, при которых на поверхности пленок селенида свинца формируются субмикронные полые структуры свинца. Обработка проводилась при низкой энергии ионов Ar+ (20-30 eV), близкой к пороговой энергии распыления, при временах обработки 60-240 s. С помощью методов электронной микроскопии и локального энергодисперсионного рентгеновского анализа описаны свойства получаемых объектов. Показано, что размеры структур, их форма и поверхностная плотность изменяются в широких пределах и определяются временем плазменной обработки и температурой поверхности. Рассматриваются физические процессы, приводящие к формированию ансамбля полых частиц свинца в процессе плазменного распыления.
  • Зимин С.П., Горлачев Е.С. Наноструктурированные халькогениды свинца. Ярославль: Изд-во ЯрГУ, 2011. 232 с
  • Zimin S., Gorlachev E., Amirov I. // Encyclopedia of plasma technology / Ed. J.L. Shohet. N.Y.: CRC Press, 2017. V. 1. P. 679--691
  • Ostrikov K. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2014. V. 47. P. 224009
  • Gupta S., Agarwal D.C., Khan S.A., Neeleshwar S., Ojha S., Srivastava S., Tripathi A., Amirthapandian S., Panigrahi B.K., Avasthi D.K. // Mater. Sci. Eng. B. 2014. V. 184. P. 58--66
  • Zogg H., Arnold M., Felder F., Rahim M., Ebneter C., Zasavitskiy I., Quack N., Blunier S., Dual J. // J. Electron. Mater. 2008. V. 37. N 9. P. 1497--1503
  • Зимин С.П., Амиров И.И., Наумов В.В. // ФТП. 2016. Т. 50. В. 8. С. 1146--1150
  • Wang H., Zhu H. // Nanoscale Res. Lett. 2015. V. 10. P. 487 (1--9)
  • Номоев А.В. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. В. 10. С. 35--42
  • Lou X.W., Archer L.A., Yang Z. // Adv. Mater. 2008. V. 20. N 21. P. 3987--4019
  • Lee G., Choi S., Lee Y.H., Park J.T. // Bull. Korean Chem. Soc. 2009. V. 30. N 5. P. 1135--1138
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.