Письма в журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24

Дозовая зависимость формирования нанокристаллов в имплантированных гелием слоях кремния

DOI: 10.21883/PJTF.2018.07.45883.17112

Переводная версия: 10.1134/S1063785018040077

Ломов А.А.

¹, Мяконьких А.В.

¹, Чесноков Ю.М.

², Денисов В.В.^3,4, Кириченко А.Н.

³, Денисов В.Н. ^3,4,5

¹Физико-технологический институт Российской академии наук, Москва, Россия Institute of Physics and Technology, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Institute of Physics and Technology, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

²Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия National Research Center “Kurchatov Institute”, Moscow, Russia

³Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, Москва, Троицк, Россия Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials, Moscow, Russia

Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials, Moscow, Russia

⁴Московский физико-технический институт, Долгопрудный, Московская обл., Россия Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny, Moscow oblast, Russia

Moscow Institute of Physics and Technology, Dolgoprudny, Moscow oblast, Russia

⁵Институт спектроскопии РАН, Троицк, Москва, Россия Institute of Spectroscopy, Russian Academy of Sciences, Troitsk, Moscow, Russia

Email: lomov@ftian , miakonkikh@ftian.ru , chessyura@yandex.ru, akir73@mail.ru, denisovvn@tisnum.ru

Поступила в редакцию: 7 ноября 2017 г.

Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

PDF версия

Впервые доказана возможность формирования нанокристаллов в слоях кремния, подвергнутых плазменно-иммерсионной ионной имплантации гелия с энергией 5 keV. Влияние дозы имплантации на микроструктуру слоев изучено методами рентгеновской рефлектометрии, просвечивающей электронной микроскопии и комбинационного рассеяния света. Установлено, что процесс формирования кремниевых нанокристаллов с размерами 10-20 nm имеет ярко выраженную зависимость от потока ионов и происходит при дозе 5· 10¹⁷ cm^-2 с последующим отжигом при 700-800^oC. Показано, что превышение этой дозы приводит к разрушению верхнего защитного субслоя и деградации оптических свойств нанокристаллов. DOI: 10.21883/PJTF.2018.07.45883.17112

Mangolini L. // J. Vac. Sci. Technol. В. 2013. V. 31. N 2. P. 020801 (1--29)
Priolo F., Gregorkiewicz T., Galli M., Krauss T.F. // Nature Nanotechnol. 2014. V. 9. P. 19--32
Sun C., Wade M.T., Lee Y., Orcutt J.S., Alloatti L., Georgas M.S., Waterman A.S., Shainline J.M., Avizienis R.R., Lin S., Moss B.R., Kumar R., Pavanello F., Atabaki A.H., Cook H.M., Ou A.J., Leu J.C., Chen Y.-H., Asanovic K., Ram R.J., Popovic M.A., Stojanovic V.M. // Nature. 2015. V. 528. P. 534--538
Korotchenkov G., Cho B.K. // Critical Rev. Solid State Mater. Sci. 2010. V. 35. N 3. P. 153--260
Lihao H., Zeman M., Smets A.H.M. // Nanoscale. 2015. V. 7. N 18. P. 8389--8397
Турищев С.Ю., Терехов В.А., Коюда Д.А., Панков К.Н., Ершов А.В., Грачев Д.А., Машин А.И., Домашевская Э.П. // ФТП. 2013. Т. 47. В. 10. С. 1327--1334
Griffoen C.C., Evans J.H., de Jong P.C., van Veen A. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. 1987. V. 27. N 3. P. 417--420
Siegele R., Weatherly G.C., Haugen H.K., Lockwood D.J., Howe L.M. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 66. N 11. P. 1319--1321
Мяконьких А.В., Рогожин А.Е., Руденко К.В., Лукичев В.Ф. // Микроэлектроника. 2013. Т. 42. N 4. С. 306--313
Lomov A., Shcherbachev K., Chesnokov Yu., Kiselev D. // J. Appl. Cryst. 2017. V. 50. Pt. 2. P. 539--546

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель