"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Термическая стабильность несплавных омических контактов к гетероструктурам AlGaN/GaN
Павлов А.Ю. 1, Павлов В.Ю. 1, Слаповский Д.Н. 1
1Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук, Москва, Россия
Email: p.alex.ur@yandex.ru
Поступила в редакцию: 14 июня 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.

Представлены результаты исследования деградации несплавных омических контактов с эпитаксиально-доращиваемым сильнолегированным GaN к гетероструктурам с двумерным электронным газом (ДЭГ). Исследовалось изменение значения относительного удельного контактного сопротивления при температурах до 600oC для металлизаций Ti/Pd/Au, Cr/Au и Cr/Pd/Au. Наилучшую стойкость к температурным воздействиям показал состав металлизации Cr/Pd/Au, сопротивление которого уменьшалось при рабочих температурах 400oC. Впервые продемонстрировано, что наибольший вклад в увеличение значения контактного сопротивления к ДЭГ при нагреве выше 400oC вносит сопротивление структуры металл-полупроводник (Cr/Pd/Au-n+-GaN), при этом при температурах 400oC и выше происходит уменьшение значения сопротивления между сильнолегированным GaN и ДЭГ. DOI: 10.21883/PJTF.2017.22.45267.16917
  • Федоров Ю.В., Гнатюк Д.Л., Бугаев А.С. и др. // Микроэлектроника. 2016. Т. 45. В. 2. С. 135--143
  • Михайлович С.В., Галиев P.P., Зуев и др. // Письма в ЖТФ. 2017. Т. 45. В. 16. С. 9--14
  • Павлов В.Ю., Павлов А.Ю. // Нано- и микросистемная техника. 2016. Т. 18. В. 10. С. 635--644
  • Lee M.L., Sheu J.-K., Hu C.C. // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 91. P. 182106
  • Chang Z., Shu-Ming Z., Hui W. et al. // Chin. Phys. Lett. 2012. V. 29. N 1. P. 017301
  • Павлов В.Ю., Павлов А.Ю., Слаповский Д.Н. и др. // Тез. докл. 11-й Всерос. конф. "Нитриды галлия, индия и алюминия --- структуры и приборы". 2017. С. 132--133
  • Арутюнян С.С., Павлов А.Ю., Павлов В.Ю. и др. // ФТП. 2016. Т. 50, В. 8. С. 1138--1142
  • Guo J., Li G., Faria F. et al. // IEEE Electron Device Lett. 2012. V. 33. N 4. P. 525-527
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.