Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Выращивание ориентированных пленок AlN на подложках сапфира методом плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения
Тарала В.А.
1, Алтахов А.С.
1, Амбарцумов М.Г.
1, Мартенс В.Я.
1
1Северо-Кавказский федеральный университет, Ставрополь
Email: vitaly-tarala@yandex.ru, altakhov@gmail.com, culvico@yandex.ru
Поступила в редакцию: 12 июля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.
Исследована возможность использования метода плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения для выращивания ориентированных пленок AlN на подложках Al2O3 при температурах менее 300oC. Проведены исследования образцов методами рентгенофазового анализа и эллипсометрии. Показано, что при длительностях плазменной экспозиции боле 20 s осаждаются пленки, обладающие показателем преломления, равным 2.03± 0.03. На рентгенограммах этих образцов присутствуют рефлексы (0002) и (0004) при углах 2Theta, равных 35.7o и 75.9o, характерные для гексагонального политипа AlN. У наилучшего образца для рефлекса (0002) ширина кривой качания на полувысоте интенсивности (FWHM) составила порядка 162± 11 arcsec.
- Sowers A.T. et al. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71. N 16. P. 2289--2291
- Sahyoun W. et al. // IEEE TUFFC. 2011. V. 58. N 10. P. 2162--2170
- Ivaldi P. et al. // Frequency Control Symposium (FCS). 2010. P. 81--84
- Tsai D.-S. et al. // Sci. Rep. 2013. N 4. P. 2628
- Clement M. et al. // Ultrasonics. 2004. N 42. P. 403--407
- Ратников В.В. и др. // Письма в ЖТФ. 2016. T. 42. В. 8. С. 61--69
- Blasing J. et al. // J. Appl. Phys. 2009. V. 105. P. 033 504 (1--9)
- Kakanakova-Georgieva A. et al. // J. Crystal Growth. 2012. V. 338. N 1. P. 52-56
- Xi Y.A. et al. // Appl. Phys. Lett. 2006. V 89. P. 103 106
- Matsunami N. et al. // Adv. Mater. Phys. Chem. 2013. N 3. P. 101--107
- Lee Y.J. et al. // Thin Solid Films. 2004. V. 446. N 2. P. 227--231
- Bosund M. et al. // Appl. Surf. Sci. 2011. N 257. P. 7827--7830
- Alevli M. et al. // Phys. Status Solidi A. 2012. V. 209. N 2. P. 266--271
- Motamedi P. et al. // J. Crystal Growth. 2015. N 421. P. 45--52
- Alevli M. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2012. V. 30. N 2. P. 021 506 (1--6)
- Nepal N. et al. // Appl. Phys. Lett. 2013. V. 103. P. 082 110
- Boulle A. et al. // J. Appl. Phys. 2005. V. 97. N 7. P. 073 503
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
