Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Нелинейные калибровочные зависимости в методе вторично-ионной масс-спектрометрии для количественного анализа гетероструктур GeSi с нанокластерами
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
Поступила в редакцию: 25 сентября 2015 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2016 г.
Впервые в практике вторично-ионной масс-спектрометрии получена нелинейная калибровочная зависимость для отношения кластерных и элементарных вторичных ионов германия Ge2/Ge, не содержащая вторичных ионов кремния, что позволяет проводить количественный анализ концентрации германия в гетероструктурах GexSi1-x во всем диапазоне x: 0<x≤ 1. Разработан метод количественного латерального анализа - построение латеральной карты x. Развит алгоритм выявления и анализа латеральной неоднородности x в гетероструктурах GexSi1-x с 3D-кластерами путем сопоставления результатов послойного анализа с использованием линейной и нелинейной калибровочных зависимостей, определена концентрация x в самоформирующихся наноостровках.
- Gao Y. // J. Appl. Phys. 1988. V. 67. P. 3760
- Gautier B., Dupuy J.C., Dubois C. // Thin Solid Films. 1997. V. 294. P. 54
- Gavelle M., Scheid E., Cristiano F. et al // J. Appl. Phys. 2007. V. 102. P. 074 904
- Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Лобанов Д.Н., Новиков А.В., Юрасов Д.В. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2011. N 6. С. 93
- Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Новиков А.В., Юнин П.А., Юрасов Д.В. // ФТП. 2014. Т. 48. C. 1138
- Sanchez-Almazan F., Napolitani E., Carnera A. et al. // Appl. Surf. Sci. 2004. V. 231-232. P. 704
- Junel M., Laugier F. // Appl. Surf. Sci. 2004. V. 231--232. P. 698
- Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Новиков А.В., Юнин П.А., Юрасов Д.В. // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. В. 14. C. 36
- Юнин П.А., Дроздов Ю.Н., Дроздов М.Н., Новиков А.В., Юрасов Д.В. // ФТП. 2012. Т. 46. С. 1515
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
