"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Нелинейные калибровочные зависимости в методе вторично-ионной масс-спектрометрии для количественного анализа гетероструктур GeSi с нанокластерами
Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Новиков А.В.1, Юнин П.А.1, Юрасов Д.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 25 сентября 2015 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2016 г.

Впервые в практике вторично-ионной масс-спектрометрии получена нелинейная калибровочная зависимость для отношения кластерных и элементарных вторичных ионов германия Ge2/Ge, не содержащая вторичных ионов кремния, что позволяет проводить количественный анализ концентрации германия в гетероструктурах GexSi1-x во всем диапазоне x: 0<x≤ 1. Разработан метод количественного латерального анализа --- построение латеральной карты x. Развит алгоритм выявления и анализа латеральной неоднородности x в гетероструктурах GexSi1-x с 3D-кластерами путем сопоставления результатов послойного анализа с использованием линейной и нелинейной калибровочных зависимостей, определена концентрация x в самоформирующихся наноостровках.
  1. Gao Y. // J. Appl. Phys. 1988. V. 67. P. 3760
  2. Gautier B., Dupuy J.C., Dubois C. // Thin Solid Films. 1997. V. 294. P. 54
  3. Gavelle M., Scheid E., Cristiano F. et al // J. Appl. Phys. 2007. V. 102. P. 074 904
  4. Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Лобанов Д.Н., Новиков А.В., Юрасов Д.В. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2011. N 6. С. 93
  5. Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Новиков А.В., Юнин П.А., Юрасов Д.В. // ФТП. 2014. Т. 48. C. 1138
  6. Sanchez-Almazan F., Napolitani E., Carnera A. et al. // Appl. Surf. Sci. 2004. V. 231-232. P. 704
  7. Junel M., Laugier F. // Appl. Surf. Sci. 2004. V. 231--232. P. 698
  8. Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Новиков А.В., Юнин П.А., Юрасов Д.В. // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. В. 14. C. 36
  9. Юнин П.А., Дроздов Ю.Н., Дроздов М.Н., Новиков А.В., Юрасов Д.В. // ФТП. 2012. Т. 46. С. 1515

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.