Вышедшие номера
Моделирование распыления материалов фокусированным ионным пучком
Боргардт Н.И.1, Волков Р.Л.1, Румянцев А.В.1, Чаплыгин Ю.А.1
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
Email: lemi@miee.ru
Поступила в редакцию: 13 января 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

Описание эволюции поверхности образца под воздействием фокусированного ионного пучка выполнено методом функций уровня в рамках модели, которая учитывает эффекты переосаждения атомов, первично распыленных падающими ионами. Для достижения количественного соответствия результатов моделирования экспериментальным данным на основе специально выполненных экспериментов уточнены как форма ионного пучка, так и модель распыления им вторично осажденного материала. На примере углублений прямоугольной формы показано, что развитый подход позволяет с хорошей точностью моделировать рельеф поверхности, формирующийся под воздействием фокусированного ионного пучка.