Особенности атомного и электронного строения нитевидного кремния, сформированного на подложках с различным удельным сопротивлением по данным ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии
Турищев С.Ю., Терехов В.А., Нестеров Д.Н., Колтыгина К.Г., Сиваков В.А., Домашевская Э.П.
Поступила в редакцию: 17 октября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.
Массивы нитевидного кремния были получены методом жидкофазного металл-ассистированного химического травления с использованием подложек кристаллического кремния. Сформированные массивы и отдельные нити изучались методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии. Электронное строение и фазовый состав поверхности и приповерхностных слоев сформированных массивов были изучены методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии. Показано, что морфологически более развитый образец, сформированный на подложке с низким удельным сопротивлением, значительно сильнее подвержен окислению с заметным образованием фаз промежуточных оксидов кремния. Массив нитей, сформированных на подложке с высоким удельным сопротивлением, также подвержен естественному окислению, но в существенно меньшей степени, а с увеличением глубины анализа содержит в основном фазу кристаллического кремния, составляющего объем сформированных нитей.
- Canham L.T. // Appl. Phys. Lett. 1990. V. 57. N 10. P. 1046--1048
- Jung K.H., Shin S., Kwong D.L. // J. Electrochem. Soc. 1993. V. 140. N 10. P. 3046--3064
- John G.C., Singh V.A. // Phys. Rev. B. 1994. V. 50. N 8. P. 5329--5334
- Sivakov V.A., Voigt F., Berger A., Bauer G., Christiansen S.H. // Phys. Rev. B. 2010. V. 82. P. 125 446
- Domashevskaya E.P., Golikova O.A., Terekhov V.A., Trostyanskii S.N. // J. Non-Cryst. Solids. 1987. V. 90. P. 135--138
- Shulakov A.S. // Crystal Research and Technology. 1988. V. 23. N 6. P. 835--838
- Терехов В.А., Тростянский С.Н., Селезнев А.Е., Домашевская Э.П. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1988. Т. 5. С. 74--78
- Turishchev S.Yu., Terekhov V.A., Kashkarov V.M., Domashevskaya E.P., Molodtsov S.L., Vyalykh D.V. // J. Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 2007. V. 156--158. P. 445--451
- Terekhov V.A., Kashkarov V.M., Turishchev S.Yu., Pankov K.N., Volodin V.A., Efremov M.D., Marin D.V., Cherkov A.G., Goryainov S.V., Korchagin A.I., Cherepkov V.V., Lavrukhin A.V., Fadeev S.N., Salimov R.A., Bardakhanov S.P. // J. Materials Science and Engineering B. 2008. V. 147. Р. 222--225
- Зимкина Т.М., Фомичев В.А. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия. Л.: ЛГУ, 1971. 132 с
- Sivakov V.A., Bronstrup G., Pecz B., Berger A., Radnoczi G.Z., Krause M., Christiansen S.H. // J. Phys. Chem. 2010. V. 114. N 9. P. 3798--3803
- Terekhov V.A., Kashkarov V.M., Manukovskii E.Yu., Schukarev A.V., Domashevskaya E.P. // J. Electron Spectr. and Rel. Phen. 2001. V. 114--116. P. 895
- Wiech G., Feldhutter H.-O., Simunek A. // Phys. Rev. B. 1993. V. 47. N 12. P. 6981--6989
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук