"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Прецизионная калибровка толщин и состава слоев эпитаксиальных гетероструктур AlGaAs с вертикальным оптическим микрорезонатором
Блохин С.А.1, Кузьменков А.Г.2,1, Гладышев А.Г.2,1, Васильев А.П.2,1, Блохин А.А.3,1, Бобров М.А.1, Малеев Н.А.1, Устинов В.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Email: blokh@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 5 августа 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

Исследована возможность определения фактических толщин и составов отдельных слоев гетероструктур AlGaAs с вертикальным микрорезонатором при совместном использовании методов спектроскопии оптического отражения и рентгеновской дифракции. Показано, что самосогласованное решение двух возникающих обратных задач при использовании специальной конструкции тестовой гетероструктуры частично снимает проблему неопределенности решения и повышает абсолютную точность определения параметров отдельных эпитаксиальных слоев.
  1. Soda H. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 1979. V. 18. P. 2329
  2. Schubert E.F. et al. // Appl. Phys. Lett. 1992. V. 60. P. 921
  3. Kuznetsov F. et al. // IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 1999. V. 5. P. 561
  4. Keller U. et al. // IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 1996. V. 2. P. 435
  5. Kishino K. et al. // IEEE J. Quantum Electron. 1991. V. 27. P. 2025
  6. Chang K.H. et al. // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. P. 4877
  7. Vurgaftman I. et al. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89. P. 5815
  8. Roshko A. et al. // Phys. Stat. Sol. (c). 2003. V. 0. P. 992
  9. Zhang B.Y. et al. // J. Cryst. Growth. 2003. V. 251. P. 777
  10. Kidd P., Mater J. // J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 2003. V. 14. P. 541
  11. Thomas P.J.S. et al. // Semicond. Sci. Technol. 2001. V. 16. P. 107
  12. Bhattacharya A. et al. // J. Cryst. Growth. 2005. V. 274. P. 331
  13. Тихонов А.Н., Гончарский А.В. Некорректные задачи естествознания. М.: Изд-во МГУ, 1987. 303 с
  14. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 856 с
  15. Takagi S. // Acta Crystallogr. 1962. V. 15. P. 1311
  16. Fewster P.F. // Rep. Prog. Phys. 1996. V. 59. P. 1339
  17. Боуэен Д.К., Таннер Б.К. Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография. СПб.: Наука, 2002. 274 с
  18. Zhou D., Usher B.F. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. V. 34. P. 1461
  19. Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1986. 288 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.