Вышедшие номера
Абсолютный эталон диффузионной длины и времени жизни неосновных носителей заряда в монокристаллическом кремнии
Скиданов В.А.1
1Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук (ИППМ РАН)
Email: skidanov@ippm.ru
Поступила в редакцию: 28 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2014 г.

Существенное различие в сечениях рекомбинации электронов на комплексах Fe-B sigma1 и на активированных ионах железа sigma2 в монокристаллическом кремнии, легированном бором, использовано для независимого определения времени жизни электронов в эталоне Tst с помощью метода поверхностной фотоэдс. Пары значений времени жизни электронов T1 и T2 до и после разложения комплексов Fe-B были измерены для каждого из 600 слитков при произвольно выбранном значении диффузионной длины Lcal для калибрующего образца и размещены на плоскости (T1,T2). На границе заполненной точками области представлены слитки, загрязненные только ионами железа, так что T2/T1= sigma1/sigma2. Истинные значения Lst и Tst калибрующего образца и отношение sigma1/sigma2 = 12.5 ±0.5 определены с помощью подбора нового значения диффузионной длины для калибрующего образца, спрямляющего границу заполненной точками области после пересчета величин T1 и T2.