Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2014, выпуск 20 » Статья стр. 9
<<<>>>
Бета-индуцированное уменьшение адгезии в структуре AlN/Si
Головин Ю.И.1, Дмитриевский А.А.1, Ефремова Н.Ю.1
1Научно-исследовательский институт "Нанотехнологии и наноматериалы" Тамбовского государственного университета им. Г.Р. Державина, Тамбов, Россия
Email: dmitr2002@tsu.tmb.ru
Поступила в редакцию: 6 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2014 г.
PDF версия
Исследовано влияние низкоинтенсивного (I~ 1.2· 105cm-2· s-1) бета-облучения на процесс отслаивания аморфной пленки AlN (толщиной порядка 100 nm) от кремниевой подложки ориентации (100) при царапании пирамидой Берковича с линейно нарастающей во времени нагрузкой. Обнаружено, что после облучения (флюенс f=2.16· 1010 cm-2) пленка AlN начинает отслаиваться при меньшей (на 10%) нагрузке и уменьшается (на 40%) латеральная сила, действующая на царапающий индентор. Полученные результаты могут найти применение в совершенствовании технологии бондинга, а также должны учитываться при оценке надежности тонкопленочных структур, подверженных (преднамеренно или случайно) действию электронного облучения.
  1. Springer Handbook of Nanotechnology / Ed. Bharat Bhushan. Springer, 2010. 1950 p
  2. Kar J.P., Bose G., Tuli S., Dangwal A., Mukherjee S. // Journal of Materials Engineering and Performance. 2009. V. 18 P. 1046
  3. O'Donnell K., Dierolf V. Rare Earth Doped III-Nitrides for Optoelectronic and Spintronic Applications. Springer, 2010. 355 p
  4. Наумов В.В., Бочкарев В.Ф., Бучин Э.Ю. // ЖТФ. 2009. Т. 79. В. 7. С. 146
  5. Заверюхина Н.Н. // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. В. 16. С. 82
  6. Kaeding J.F., Wu Y., Fujii T., Sharma R., Fini P.T., Speck J.S., Nakamura Sh. // Journal of Crystal Growth. 2004. V. 272. P. 257
  7. Дмитриевский А.А., Шуклинов А.В., Ловцов А.Р., Исаева Е.Ю. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2013. N 5. С. 70
  8. Головин Ю.И., Дмитриевский А.А., Пушнин И.А., Сучкова Н.Ю. // ФТТ. 2004. Т. 46. В. 10. С. 1790
  9. Головин Ю.И., Дмитриевский А.А., Сучкова Н.Ю. // ФТТ. 2006. Т. 48. В. 2. С. 262
  10. Дмитриевский А.А. // Известия ВУЗов. Серия Физика. 2013. N 8. С. 85
  11. Дмитриевский А.А., Ефремова Н.Ю., Вихляева Е.М., Коренков В.В., Шуклинов А.В., Badylevich M., Fedorenko Y.G. // Известия РАН. Серия Физическая. 2010. Т. 74. N 2. С. 229
  12. Головин Ю.И, Моргунов Р.Б., Иванов В.Е., Дмитриевский А.А. // ЖЭТФ. 2000. Т. 116. N 6. С. 123
  13. Golovin Yu.I., Tyurin A.I., Farber B.Ya. // Journal of Materials Science. 2002. V. 37. N 4. P. 895
  14. Badylevich M., Shamuilia S., Afanas'ev V.V., Stesmans A., Fedorenko Y.G., Zhao C. // J. Appl. Phys. 2008. V. 104. P. 093713
  15. Дмитриевский А.А. // Деформация и разрушение материалов. 2013. N 11. С. 2

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme