Определение параметров тонких пленок в схеме призменного возбуждения мод
Хомченко А.В.1, Сотский А.Б.1, Романенко А.А.1, Глазунов Е.В.1, Костюченко Д.Н.1
1Институт прикладной оптики НАН Беларуси, Могилев
Email: ipo@physics.belpak.mogilev.by
Поступила в редакцию: 10 декабря 2001 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2002 г.
Предложен метод измерения коэффициента поглощения, показателя преломления и толщины тонких пленок, основанный на регистрации угловой зависимости коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного возбуждения волноводных либо вытекающих мод. Обсуждаются особенности определения параметров SiOx-пленок на кремниевой и стеклянной подложках.
- Сретенский В.Н., Юдинов В.А. // Зарубеж. радиоэлектр. 1996. N 3. С. 69--75
- Ulrich R., Torge R. // Appl. Opt. 1973. V. 12. N 12. P. 2901--2908
- Hou T.W., Mogab C.J. // Appl. Optics. 1981. V. 20. N 18. P. 3184--3188
- Сотский А.Б., Хомченко А.В., Сотская Л.И. // Оптика и спектроскопия. 1995. Т. 78. N 3. С. 502--511
- Романенко А.А., Сотский А.Б. // ЖТФ. 1998. Т. 68. В. 4. С. 88--95
- Петровский Г.Т., Редько В.П., Хомченко А.В. // ЖТФ. 1984. Т. 54. В. 10. С. 2045--2047
- Kersten R.Th. // Vakuum-Technik. 1973. V. 23. N 1. P. 16--19
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук