Приводятся результаты исследования профилей распределения имплантированных атомов марганца в кремнии в зависимости от дозы облучения и температуры отжига методом розерфордовского обратного рассеяния (РОР). Полученные результаты хорошо согласуются с аналогичными данными, полученными другим методом. Изучено влияние термического отжига на распределение Mn и других примесей, в частности кислорода. Отмечена возможность использования метода РОР для анализа как концентрационного распределения легирующих примесей, так и взаимодействия примесей.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.